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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來(lái)是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過(guò)去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場(chǎng)問(wèn)題,國(guó)產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。
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據(jù)中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道,三星(Samsung)明年可能導(dǎo)入極紫外光(EUV)技術(shù)生產(chǎn)內(nèi)存,美光(Micron)企業(yè)副總裁、中國(guó)臺(tái)灣美光董事長(zhǎng)徐國(guó)晉表示,...
ASML:預(yù)計(jì)2015年可發(fā)布首款量產(chǎn)型EUV機(jī)臺(tái)
設(shè)備供應(yīng)商艾司摩爾(ASML)已協(xié)同比利時(shí)微電子研究中心(IMEC)和重量級(jí)晶圓廠,合力改良EUV光源功率與晶圓產(chǎn)出速度,預(yù)計(jì)2015年可發(fā)布首款量產(chǎn)型...
ASML宣布了一項(xiàng)合作成果:在印刷24nm節(jié)距線方面取得突破
本周在SPIE高級(jí)光刻會(huì)議上,世界領(lǐng)先的納米電子和數(shù)字技術(shù)研究與創(chuàng)新中心IEMC與世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造商ASML宣布了一項(xiàng)合作成果。在印刷24n...
在9月份召開(kāi)的“SEMICON Taiwan 2014”展覽會(huì)上,ASML公司的臺(tái)灣地區(qū)銷售經(jīng)理鄭國(guó)偉透露,第3代極紫外光(EUV)設(shè)備已出貨6臺(tái)。
EUV微影技術(shù)仍待克服重重障礙 2020年將用于關(guān)鍵步驟
極紫外光(EUV)微影技術(shù)持續(xù)取得重大進(jìn)展。在日前于美國(guó)加州圣荷西舉行的國(guó)際光電工程學(xué)會(huì)(SPIE)年度會(huì)議上,英特爾(Intel)與三星(Samsun...
全球芯片供給過(guò)剩跡象明顯,ASML內(nèi)藏隱憂
ASML的主要產(chǎn)品是光刻機(jī),而光刻機(jī)的客戶相當(dāng)有限,其中最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)客戶如今更是剩下臺(tái)積電、三星和Intel三家,如此情況下決定ASML業(yè)績(jī)的...
Intel 4 工藝對(duì)于英特爾來(lái)說(shuō)是一個(gè)重要的里程碑,因?yàn)樗怯⑻貭柕谝粋€(gè)集成 EUV 的工藝,也是第一個(gè)跨越陷入困境的 10nm 節(jié)點(diǎn)的工藝。對(duì)于英特...
具有13.5nm波長(zhǎng)源的高數(shù)值孔徑系統(tǒng)將提高亞13nm半間距曝光所需的分辨率,以及更大的圖像對(duì)比度以實(shí)現(xiàn)更好的印刷線均勻性。High-NA EUV光刻的...
三星 SAFE計(jì)劃現(xiàn)在已可提供與Synopsys的Lynx設(shè)計(jì)系統(tǒng)兼容的經(jīng)認(rèn)證
Synopsys宣布,Synopsys Design Platform已通過(guò)全球領(lǐng)先半導(dǎo)體技術(shù)企業(yè)三星電子的工藝認(rèn)證,支持三星代工部門的8nm LPP(...
歐洲中部時(shí)間1月20日早上7點(diǎn),ASML召開(kāi)了2020第四季度和全年財(cái)報(bào)電話會(huì)議,ASML總裁兼首席執(zhí)行官Peter Wennink在會(huì)上透露,ASML...
中國(guó)人用了30年望見(jiàn)計(jì)算力的珠峰
14億人的戰(zhàn)爭(zhēng): 中國(guó)人用了30年望見(jiàn)計(jì)算力的珠峰文 | 史中 日本是一個(gè)喜歡畫(huà)面感的民族。 從浮世繪、歌舞伎,到茶道、花道,到活著就是為了打籃球的《灌...
臺(tái)積電已安裝了全世界約50%的激活EUV機(jī)器
在本周召開(kāi)的臺(tái)積電技術(shù)研討會(huì)上,最重要的中心信息之一是,該公司在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位,特別是在領(lǐng)先的工藝技術(shù)領(lǐng)域。
臺(tái)積電搶進(jìn)3D封裝技術(shù) 日月光不會(huì)直接競(jìng)爭(zhēng)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁入20nm以下制程后,不但封測(cè)技術(shù)愈加困難、投資門坎也愈來(lái)愈高,IC封測(cè)龍頭廠日月光(2311)營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)吳田玉表示,臺(tái)積電(2330)本身就是...
Intel 4/3/20A/18A四種新工藝都來(lái)了!
大家知道,RISC-V已經(jīng)成為繼x86、ARM之后冉冉升起的第三大CPU架構(gòu),盡管此前試圖收購(gòu)RISC-V內(nèi)核公司SiFive的努力失敗,但I(xiàn)ntel找...
當(dāng)?shù)貢r(shí)間10月14日,半導(dǎo)體巨頭、全球光刻機(jī)領(lǐng)頭企業(yè)ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰達(dá)森(Roger Dassen),對(duì)向中國(guó)出口光刻機(jī)的問(wèn)題作出了表態(tài)。他表示,...
ASML的EUV光刻機(jī)已成臺(tái)積電未來(lái)發(fā)展的“逆鱗”
臺(tái)積電是第一家將EUV(極紫外)光刻工藝商用到晶圓代工的企業(yè),目前投產(chǎn)的工藝包括N7+、N6和N5三代。
據(jù)說(shuō)三星將從8月開(kāi)始大規(guī)模生產(chǎn)5nm芯片,預(yù)計(jì)首款SoC將是Exynos 992。DigiTimes的一份報(bào)告指出,該技術(shù)龐然大物在保持令人滿意的良率方...
三星計(jì)劃基于GAA技術(shù)批量生產(chǎn)業(yè)界首批半導(dǎo)體
EUV是一種具有13.5納米短波長(zhǎng)的光源。與其他光源相比,其波長(zhǎng)短十倍。這表明EUV能夠在半導(dǎo)體晶圓上創(chuàng)建更精細(xì),更詳細(xì)的圖案。同樣,它能夠減少工藝數(shù)量...
三星與當(dāng)?shù)卣炗嗛_(kāi)發(fā)協(xié)議,要求政府指定資源,并建立與場(chǎng)地開(kāi)發(fā)和建筑施工活動(dòng)審查、批準(zhǔn)和檢查快速流程。三星暫時(shí)未公布新建計(jì)劃,有人猜測(cè)可能只是存儲(chǔ)材料庫(kù)...
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