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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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智能織物改變傳統(tǒng)醫(yī)療保健,技術(shù)交叉融合支持
人口老齡化的趨勢(shì)已經(jīng)被媒體廣泛報(bào)道,全球人口出生率持續(xù)下降加快了老齡化。這些趨勢(shì)共同意味著未來幾十年能夠照顧更大基數(shù)老年人口的人數(shù)將會(huì)更少。在短期內(nèi),沒...
美國(guó)模擬器件公司ADI推出了一款多軸運(yùn)動(dòng)傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)融為一體,通過精確的運(yùn)動(dòng)分析與控制,提高系統(tǒng)性能,并使設(shè)計(jì)人員的研制時(shí)間縮短長(zhǎng)達(dá)一年。新的慣性測(cè)量裝置擴(kuò)展了...
2019-03-20 標(biāo)簽:adimems運(yùn)動(dòng)傳感器 2046 0
透明網(wǎng)絡(luò)中的全光交換:挑戰(zhàn)和新實(shí)現(xiàn)
在過去十年中,高帶寬應(yīng)用的涌入推動(dòng)了從面向連接的通信到以IP為中心的高帶寬數(shù)據(jù)流量的范式轉(zhuǎn)變。這種轉(zhuǎn)變凸顯了對(duì)比特率、協(xié)議和格式不敏感的透明網(wǎng)絡(luò)的需求。...
本文提出了一種基于MEMS工藝的LED芯片封裝技術(shù),利用Tracepro軟件仿真分析了反射腔的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)LED光強(qiáng)的影響,通過分析指出。利用各向異性腐蝕...
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常...
加速傳感器的分類工作原理及在各領(lǐng)域中的應(yīng)用
加速傳感器顧名思義就是一種能夠測(cè)量出產(chǎn)品加速度的一種設(shè)備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計(jì),分別是角加速度計(jì)和線加速度計(jì)。生活中我們又將它分為四種...
2018-10-11 標(biāo)簽:mems可穿戴設(shè)備加速傳感器 2033 0
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計(jì)212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
肖特基的硅片上制作孔專利 此后, IBM開始在集成電路領(lǐng)域發(fā)力,并在垂直電互連方面取得了突破。
MEMS振動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介
MEMS慣性傳感器在當(dāng)今的眾多個(gè)人電子設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、強(qiáng)大功能性和卓越性能,這些因素促使著智能手機(jī)、游戲控制器、活動(dòng)跟蹤...
2014-09-05 標(biāo)簽:MEMS振動(dòng)監(jiān)控ADIS16229 2018 0
基于微納結(jié)構(gòu)的MEMS熱輻射紅外光源技術(shù)原理
一些光柵結(jié)構(gòu)也實(shí)現(xiàn)了向二維方向的拓展,使TE、TM兩個(gè)極化方向產(chǎn)生相干的熱發(fā)射成為可能。如圖8所示為SiC交叉狹縫光柵結(jié)構(gòu)示意圖及光譜發(fā)射圖。
國(guó)產(chǎn)化率不足5%的核心器件:MEMS壓力傳感器
一、?什么是MEMS壓力傳感器 壓力傳感器(Pressure Transducer)是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種器件設(shè)備,通常由壓力敏感元件(彈性敏感元件、位...
共聚焦激光內(nèi)窺鏡用于識(shí)別中空器官上皮細(xì)胞中的疾病
共聚焦激光內(nèi)窺鏡(Confocal laser endomicroscopy)是一種新興的成像技術(shù),作為一種常規(guī)醫(yī)學(xué)內(nèi)窺鏡附件正在開發(fā)臨床應(yīng)用。
摩托羅拉SPI(串行外設(shè)接口)及其變體因其低引腳數(shù)和緊湊的設(shè)計(jì)特性而成為系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員的熱門選擇。隨著安全要求的不斷提高,現(xiàn)在比以往任何時(shí)候都更需要一個(gè)行...
MEMS陀螺儀可在惡劣的高溫環(huán)境中提供精密慣性檢測(cè)
越來越多的應(yīng)用需要從位于極高溫環(huán)境中的傳感器收集數(shù)據(jù)。近年來,半導(dǎo)體、無源器件和互連器件在實(shí)現(xiàn)高精度數(shù)據(jù)采集和處理方面取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。然而,對(duì)于可在高...
微型化、集成化及智能化是當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的主要發(fā)展方向。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)和微加工技術(shù)的發(fā)...
基于節(jié)點(diǎn)存儲(chǔ)路由信息的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)、無線通信技術(shù)和分布式信息處理技術(shù)的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN,wirelesssensornetworks)是當(dāng)...
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是飛思卡爾應(yīng)用于加速度和壓力傳感器的技術(shù)?;贛EMS的傳感器產(chǎn)品有一個(gè)接口,通過該接口可以感應(yīng)、處理和/或控制周圍環(huán)境。
在整個(gè)MEMS生態(tài)系統(tǒng)中,MEMS封裝發(fā)展迅速,晶圓級(jí)和3D集成越來越重要。
MEMS傳感器在振動(dòng)監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用
振動(dòng)監(jiān)測(cè) (VM) 已經(jīng)問世很長(zhǎng)一段時(shí)間,并且已被用于監(jiān)測(cè)機(jī)器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機(jī)器運(yùn)行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動(dòng)數(shù)據(jù)以對(duì)其進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)...
2022-09-29 標(biāo)簽:mems振動(dòng)傳感器振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 1956 0
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