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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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賽靈思專家:薄化制程良率升級(jí),2.5D硅中介層晶圓成本下降
2.5D硅中介層(Interposer)晶圓制造成本有望降低。半導(dǎo)體業(yè)界已研發(fā)出標(biāo)準(zhǔn)化的制程、設(shè)備及新型黏著劑,可確保硅中介層晶圓在薄化過程中不會(huì)發(fā)生厚...
一種基于多種MEMS傳感器的嵌入式姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)詳解
傳統(tǒng)的姿態(tài)測(cè)量因?yàn)椴捎酶呔韧勇輧x和加速度計(jì)等姿態(tài)傳感器,體積龐大并且價(jià)格昂貴。當(dāng)前MEMS產(chǎn)品因其體積小、價(jià)格低、功耗低,被稱為是傳統(tǒng)的慣性測(cè)量組合的...
2018-08-09 標(biāo)簽:嵌入式MEMS測(cè)量系統(tǒng) 2418 0
MEMS 振蕩器:實(shí)現(xiàn)更小、更低功耗的物聯(lián)網(wǎng)和可穿戴設(shè)備
SiTime 為 MEMS 振蕩器與基于石英晶體的時(shí)鐘源提供了一個(gè)案例。
從物聯(lián)網(wǎng)角度去認(rèn)識(shí)MEMS傳感器
物聯(lián)網(wǎng)是通過各種傳感技術(shù)(RFID、傳感器、GPS、攝像機(jī)、激光掃描器)、各種通訊手段(有線、無(wú)線、長(zhǎng)距、短距),將任何物體與互聯(lián)網(wǎng)相連接,以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程...
2018-03-12 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 2405 0
用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時(shí)測(cè)控平臺(tái)設(shè)計(jì)
本文主要介紹了一種用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時(shí)測(cè)控平臺(tái)設(shè)計(jì),通過硬件和軟件優(yōu)化,減少數(shù)據(jù)傳輸延時(shí),并且利用高效的數(shù)據(jù)傳輸時(shí)序,實(shí)現(xiàn)了陀螺驅(qū)動(dòng)頻率閉環(huán)和...
微電子機(jī)械系統(tǒng)加速傳感器瞄準(zhǔn)醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用
通過基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)的加速傳感器和陀螺儀的設(shè)計(jì),MEMS技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用...
最新MEMS傳感器的新特性:不動(dòng)帶寬測(cè)試
對(duì)于使用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng),優(yōu)化帶寬可能是一個(gè)重要的考慮因素
2019-04-12 標(biāo)簽:mems 2390 0
MEMS振動(dòng)監(jiān)測(cè)簡(jiǎn)介
慣性MEMS傳感器在當(dāng)今個(gè)人電子設(shè)備的大規(guī)模擴(kuò)展中發(fā)揮著重要作用。它們體積小、功耗低、易于集成、功能水平高和性能卓越,鼓勵(lì)并實(shí)現(xiàn)了智能手機(jī)、游戲控制器、...
雖然大部分人對(duì)于MEMS(Microelectromechanical systems,微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實(shí)MEMS在我...
2016-12-13 標(biāo)簽:傳感器mems可穿戴設(shè)備 2376 1
分析穩(wěn)定系統(tǒng)中慣性MEMS的頻率響應(yīng)
無(wú)人機(jī)安裝的監(jiān)視設(shè)備、海上微波接收器、車載紅外成像傳感器和類似的儀器系統(tǒng)需要穩(wěn)定的平臺(tái)才能獲得最佳性能,但它們通常用于經(jīng)歷振動(dòng)和其他不良運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用。振動(dòng)...
Mic roVision 公司系統(tǒng)工程與先進(jìn)應(yīng)用部門總監(jiān)Jari Honkanen,他向我介紹了MicroVision公司發(fā)明的令人稱奇的MEMS移動(dòng)鏡技術(shù)。
2018-02-08 標(biāo)簽:MEMS 2372 0
MEMS全稱為微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem),是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái),融合了微...
用于ADC和音頻測(cè)試的高性能源,具有新穎的數(shù)字預(yù)失真
測(cè)試精密儀器需要超低失真和低噪聲高性能信號(hào)發(fā)生器。需要新的概念來(lái)確保高性能水平的表征。ADMX1002等參考設(shè)計(jì)利用高性能精密數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)簡(jiǎn)化了...
小型化需求促進(jìn)了MEMS技術(shù)的進(jìn)步
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,MEMS技術(shù)的進(jìn)步正在引領(lǐng)產(chǎn)品小型化(或者說(shuō)產(chǎn)品的小型化需求促進(jìn)了MEMS技術(shù)的進(jìn)步),同時(shí)該技術(shù)又提高了產(chǎn)品的可靠性、準(zhǔn)確性和性能。
磁力計(jì)LIS2MDL開發(fā)(1)----輪詢獲取磁力計(jì)數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來(lái)讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(5)----MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)
本文將探討如何使用MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)。MotionFX庫(kù)是一種用于傳感器融合的強(qiáng)大工具,可以將加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)的數(shù)據(jù)融合在一起,實(shí)現(xiàn)...
為什么硅基MEMS激光雷達(dá)無(wú)法用作汽車主雷達(dá)
雖然硅基MEMS微振鏡區(qū)別于傳統(tǒng)的金屬機(jī)械結(jié)構(gòu)部件(電機(jī)、轉(zhuǎn)子等),避免了機(jī)械式激光雷達(dá)因內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的整體模塊體積和重量都較大引起受沖擊時(shí)慣量太大而容易致...
英飛凌高性能模擬/數(shù)字MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)
隨著語(yǔ)音用戶界面以及使用音頻錄音共享信息和經(jīng)驗(yàn)的日益普及,人們?cè)絹?lái)越追求麥克風(fēng)的性能。
RF MEMS開關(guān)的運(yùn)作、優(yōu)勢(shì)
RF MEMS開關(guān)是一種小型微機(jī)械開關(guān),具有低功耗,可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間里的開關(guān),通過打開或關(guān)閉接觸點(diǎn)來(lái)傳導(dǎo)信號(hào)。 ...
2023-05-23 標(biāo)簽:memsRF機(jī)械開關(guān) 2249 0
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