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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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基于微流控系統(tǒng)開發(fā)單細(xì)胞生物芯片平臺
超聲基因轉(zhuǎn)移比其他細(xì)胞轉(zhuǎn)移技術(shù)更有優(yōu)勢,因為超聲不直接作用于細(xì)胞,而是通過聲孔效應(yīng)將細(xì)胞周圍的基因片段推入細(xì)胞。據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,一支由中國廣西大...
使用ADIS16209傾角儀進(jìn)行傾斜測量的精度和可重復(fù)性
測斜儀之間微妙的內(nèi)部非線性失配將表現(xiàn)出獨特的傳遞曲線。雖然某些非線性由于架構(gòu)而相似,但其他非線性由于部件之間的差異而有所不同。這些將表現(xiàn)為整體噪聲源以及...
大多數(shù)MEMS傳感器都具有自檢功能,能夠在關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用中部署之前測試傳感器。此功能練習(xí)傳感器的機械結(jié)構(gòu),以模擬其設(shè)計要測量的外力。此診斷還可用于模擬步進(jìn)...
電池供電的產(chǎn)品通常都采用一個或多個計時元件。如果使用了一個XTAL,它不會直接從蓄電池汲取電流。然而,要使諧振器振蕩,必須由一個駐留在一個MCU或SoC...
進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的,膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
利用材料特性進(jìn)行有利組合,硅、鋁和鈦的氮化物(nitrides)以及碳化硅(siliconcarbide)和其他陶瓷越來越多地應(yīng)用于MEMS制造中。
現(xiàn)在智能家居中的傳感器基本都是集成傳感器,集成傳感器是利用集成電路工藝將半導(dǎo)體敏感元件、測量處理電路集成在一個芯片上制成的性價比高、使用方便的小型化傳感器。
動作捕捉系統(tǒng)的一般性結(jié)構(gòu)主要分為三個部分:數(shù)據(jù)采集設(shè)備、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、數(shù)據(jù)處理單元,慣性式動作捕捉系統(tǒng)即是將慣性傳感器應(yīng)用到數(shù)據(jù)采集端,數(shù)據(jù)處理單元通過...
為什么MEMS加速度計正在成為設(shè)計人員在CbM應(yīng)用中的最佳選擇
全球狀態(tài)監(jiān)測(CbM)市場在過去幾年中經(jīng)歷了顯著增長,并且這種情況似乎將繼續(xù)下去。1這種增長恰逢MEMS加速度計用于振動傳感應(yīng)用的快速發(fā)展,現(xiàn)在可以與曾...
降低成本提高效率 MEMS動態(tài)晶圓測試系統(tǒng)
STI3000動態(tài)晶圓級測試系統(tǒng)采用STI的專利技術(shù)(DST),通過一個驅(qū)動電壓在晶圓上驅(qū)動MEMS移動,從而測量由此產(chǎn)生的相關(guān)各種特性,是目前全世界最...
MEMS芯片質(zhì)量影響因素總結(jié) MEMS芯片制程技術(shù)類型
中科融合是一家國際領(lǐng)先的先進(jìn)光學(xué)智能傳感器芯片企業(yè),是國內(nèi)唯一擁有自主研發(fā)“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產(chǎn)...
封裝的根本目的在于以最小的尺寸和重量、最低的價格和盡可能簡單的結(jié)構(gòu)服務(wù)于具有特定功能的一組元器件。封裝必須提供元器件與外部系統(tǒng)的接口。歸納起來,MEMS...
關(guān)于卡爾曼這部分內(nèi)容,一直思考怎么用通俗易懂的方式來按照自己的理解梳理。但是無奈,總是繞不開用數(shù)學(xué)的方法表達(dá)那 5 個關(guān)鍵的公式。不論是在B站,還是各個...
MEMS信號處理電路中的FIFO系統(tǒng)設(shè)計
通過在 MEMS 信號處理電路中設(shè)計一個異步結(jié)構(gòu)的 FIFO ,可以有效地降低系統(tǒng)對MEMS的頻繁訪問。設(shè)計一個具有多種工作模式的FIFO,可以滿足一些...
光聲效應(yīng)(photoacousticeffect)在19世紀(jì)被發(fā)現(xiàn),它可以將光轉(zhuǎn)換成聲音。當(dāng)物質(zhì)受到周期性強度調(diào)制的光照射時,產(chǎn)生聲信號的現(xiàn)象。
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