完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>
標簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
文章:3546個 瀏覽:193179次 帖子:462個
在 MEMS(微機電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機將...
ADXRS290用于穩(wěn)定應用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(層內(nèi)雙軸)角速率傳感器(陀螺儀),設(shè)計用于穩(wěn)定應用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
Analog Devices Inc. ADXL382 3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADXL382 3軸MEMS加速度計支持±15g、±30g和±60g的可選測量范圍。這款3軸加速度計具備低噪聲密度和低功耗...
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,具有可選...
ADGM1004帶集成驅(qū)動器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1004是一款寬帶、單刀四擲(SP4T)開關(guān),采用ADI公司的微型機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而成。利用該技術(shù)可實現(xiàn)小型、寬RF帶寬、高線性...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計是一款超低功耗、3軸微機電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計,在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款寬帶、單刀雙擲(SP2T)開關(guān),采用ADI公司的微型機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而...
ADGM1304具有集成驅(qū)動器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對薄膜材料或襯底進行刻蝕的工藝,其評價參數(shù)直接影響器件的結(jié)構(gòu)精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計是一款超低功耗、±400g微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,以2560Hz...
編輯推薦廠商產(chǎn)品技術(shù)軟件/工具OS/語言教程專題
電機控制 | DSP | 氮化鎵 | 功率放大器 | ChatGPT | 自動駕駛 | TI | 瑞薩電子 |
BLDC | PLC | 碳化硅 | 二極管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
無刷電機 | FOC | IGBT | 逆變器 | 文心一言 | 5G | 英飛凌 | 羅姆 |
直流電機 | PID | MOSFET | 傳感器 | 人工智能 | 物聯(lián)網(wǎng) | NXP | 賽靈思 |
步進電機 | SPWM | 充電樁 | IPM | 機器視覺 | 無人機 | 三菱電機 | ST |
伺服電機 | SVPWM | 光伏發(fā)電 | UPS | AR | 智能電網(wǎng) | 國民技術(shù) | Microchip |
Arduino | BeagleBone | 樹莓派 | STM32 | MSP430 | EFM32 | ARM mbed | EDA |
示波器 | LPC | imx8 | PSoC | Altium Designer | Allegro | Mentor | Pads |
OrCAD | Cadence | AutoCAD | 華秋DFM | Keil | MATLAB | MPLAB | Quartus |
C++ | Java | Python | JavaScript | node.js | RISC-V | verilog | Tensorflow |
Android | iOS | linux | RTOS | FreeRTOS | LiteOS | RT-THread | uCOS |
DuerOS | Brillo | Windows11 | HarmonyOS |