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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何通過應(yīng)力和應(yīng)變管理實(shí)現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測性能
本文探討采用加速度計(jì)的高精度角度/傾斜檢測系統(tǒng)的性能指標(biāo)。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計(jì),以便更好地了解微米級別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
頻率信號對于所有電子產(chǎn)品就像是心跳對所有動物的生命一般重要,所有電子電路的動作都以此重復(fù)性且穩(wěn)定的頻率信號作為參考信號源。設(shè)計(jì)優(yōu)良的頻率信號,幾乎是系統(tǒng)...
2017-12-10 標(biāo)簽:mems 940 0
MEMS在無人系統(tǒng)領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力
MEMS慣性導(dǎo)航在過去數(shù)十年內(nèi)得到了迅速發(fā)展,在無人系統(tǒng)領(lǐng)域內(nèi)得到了越來越多的應(yīng)用,其作為未來慣性導(dǎo)航的主要發(fā)展方向,正在展現(xiàn)出強(qiáng)大的潛力以及良好的應(yīng)用前景。
2020-07-14 標(biāo)簽:mems無人系統(tǒng) 923 0
利用軟件驅(qū)動、安全的預(yù)測性電機(jī)維護(hù)提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運(yùn)行時間,降低運(yùn)營成本,延長設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 904 0
MEMS技術(shù)可以被結(jié)合到各種各樣的電子部件中。生產(chǎn)這些組件的公司大概會認(rèn)為MEMS實(shí)施優(yōu)于MEMS版本問世之前所使用的實(shí)施方式。
市場容量持續(xù)擴(kuò)張 從加速度傳感器實(shí)現(xiàn)的功能來看,無論是國際知名品牌的手機(jī),還是普通的手機(jī),其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實(shí)現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
許多壓力傳感器應(yīng)用都需要具有集成信號調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應(yīng)用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
一種聚合物壓電MEMS加速度計(jì)新設(shè)計(jì)方案
MEMS加速度計(jì)通過微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷(壓電)變化來檢測機(jī)械加速度,現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器,應(yīng)用量排名第二的MEMS器件。
集成光信號分配、處理和傳感網(wǎng)絡(luò)需要小型化基本光學(xué)元件,如波導(dǎo)、分光器、光柵和光開關(guān)。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),需要能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率制造的方法。
MEMS麥克風(fēng)為中國精密制造產(chǎn)業(yè)帶來發(fā)展機(jī)遇
MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型機(jī)電裝置,主要分為微型傳感器(如MEMS麥克風(fēng)和壓力傳感器)和微型執(zhí)行器(如MEMS揚(yáng)聲器)兩大類。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS麥克風(fēng) 881 0
MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)平視顯示更亮更高清
基于MEMS的DMD領(lǐng)域內(nèi)的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多的機(jī)會,將基于投影的顯示技術(shù)融入到多種針對工業(yè)、個人電子器件、可穿戴、數(shù)字標(biāo)牌和企業(yè)市場等應(yīng)用中。
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場顯微術(shù)中,它們在小撓度狀態(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 861 0
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試靜電激勵技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的測試對MEMS器件的性能及其設(shè)計(jì)、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評價等方面均具有重要的意...
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical Systems,簡稱MEMS)壓力傳感器在汽車工業(yè)中有著極為廣泛的應(yīng)用。它們小巧高效,能夠...
2024-12-17 標(biāo)簽:mems壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 853 0
低壓驅(qū)動RF MEMS開關(guān)設(shè)計(jì)與改進(jìn)
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注,特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線,是實(shí)現(xiàn)上萬單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù),在...
紐迪瑞首次公開發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器,基于MEMS技術(shù),通過蝕刻在硅片上的高精密半導(dǎo)體電阻組成惠斯通電橋以作為機(jī)電變換測量電路,可用于微小壓力檢測。
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素,我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域...
2018-07-07 標(biāo)簽:傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 839 0
怎樣使用虹科DLO-M1液體密度傳感器進(jìn)行密度測量呢
亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
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