噴霧特性與蝕刻特性的相互關系

本研究根據(jù)蝕刻條件的變化，對蝕刻特性——蝕刻率和蝕刻系數(shù)進行了球面分析，并使用速度、液滴大小、沖擊力(PDA)系統(tǒng)分析了噴嘴、噴射壓力、線短距離、工質(zhì)物...

2022-04-14 標簽：特性蝕刻噴霧 758 0

淺析MEMS工藝的部分關鍵技術

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微機電系統(tǒng)）的縮寫，具有微小的立體結(jié)構(gòu)（三維結(jié)構(gòu)），是處理各種輸入、輸出信號...

2023-10-18 標簽：mems晶圓芯片制造 754 0

單晶硅片與蝕刻時間的關系研究

本文研究了用金剛石線鋸切和標準漿料鋸切制成的180微米厚5英寸半寬直拉單晶硅片與蝕刻時間的關系，目的是確定FAS晶片損傷蝕刻期間蝕刻速率降低的根本原因，...

2022-04-18 標簽：蝕刻單晶硅片 749 0

深入探討 PCB 制造技術：化學蝕刻

作者：Jake Hertz 在眾多可用的 PCB 制造方法中，化學蝕刻仍然是行業(yè)標準。蝕刻以其精度和可擴展性而聞名，它提供了一種創(chuàng)建詳細電路圖案的可靠方...

2025-01-25 標簽：電路板蝕刻PCB 737 0

PCB全制程流程介紹

通過光學反射原理將圖像回饋至設備處理，與設定的邏輯判斷原則或資料圖形相比較，找出缺點位置

2024-03-15 標簽：pcb蝕刻基板 735 0

一文解析齊平電路技術和嵌入式電路工藝

WUS提供了更多實例。圖7和圖8展示了齊平嵌入工藝與傳統(tǒng)mSAP減成法工藝在加工外層或內(nèi)層1盎司或0.5盎司銅箔時的差異。很多時候，根據(jù)密度的不同，齊平...

2023-09-26 標簽：pcb嵌入式激光 704 0

光致抗蝕劑剝離和清洗對器件性能的影響

退火后對結(jié)特性的剝離和清潔對于實現(xiàn)預期和一致的器件性能至關重要，發(fā)現(xiàn)光致抗蝕劑剝離和清洗會導致:結(jié)蝕刻、摻雜劑漂白和結(jié)氧化，植入條件可以增強這些效應，令...

2022-05-06 標簽：蝕刻晶片清洗 686 0

基于光譜共焦技術的PCB蝕刻檢測

傳統(tǒng)的2D視覺技術已經(jīng)無法滿足高精度的印刷電路板(PCB)外觀檢測。3D成像技術則以其獨特的優(yōu)勢，輕松地在視野范圍內(nèi)構(gòu)建目標物的狀態(tài)，無論是斷差還是孔徑...

2024-05-27 標簽：pcb蝕刻光譜 639 0

一種制備PS層的超聲增強化學蝕刻方法

本文采用超聲增強化學蝕刻技術制備了多孔硅層，利用高頻溶液和硝酸技術在p型取向硅中制備了多孔硅層。超聲檢測發(fā)現(xiàn)p型硅多孔硅層的結(jié)構(gòu)，用該方法可以制備質(zhì)量因...

2022-04-15 標簽：工藝超聲波蝕刻 613 0

硅雙通道光纖低溫等離子體蝕刻控制與SiGe表面成分調(diào)制

在過去的幾年中，MOSFET結(jié)構(gòu)從平面結(jié)構(gòu)改變?yōu)轹捫徒Y(jié)構(gòu)(FinFETs ),這改善了短溝道效應，并導致更高的驅(qū)動電流泄漏。然而，隨著柵極長度減小到小于...

2024-01-15 標簽：等離子體光纖SiGe 613 0

金屬納米顆粒通過水基剝離方案使用嵌段共聚物模板

隨著納米結(jié)構(gòu)表面和界面在廣泛的科學和技術應用中變得越來越重要，確定可擴展和廉價的方法來實現(xiàn)這些變成了一個關鍵的挑戰(zhàn)。特別是有序、非密集、表面支撐的金屬納...

2023-10-26 標簽：薄膜蝕刻PVA 596 0

一種基于摩擦誘導選擇性蝕刻的新型納米制備方法

在本研究中，通過對目標區(qū)域的低破壞性掃描和在KOH溶液中的后蝕刻，發(fā)展了一種在石英表面產(chǎn)生三維納米結(jié)構(gòu)的新型納米加工方法。這種納米制造方法的能力通過各種...

2022-05-13 標簽：納米蝕刻加工 590 0

濕法蝕刻的發(fā)展

蝕刻的歷史方法是使用濕法蝕刻劑的浸泡技術。該程序類似于前氧化清潔沖洗干燥過程和沉浸顯影。晶圓被浸入蝕刻劑罐中一段時間，轉(zhuǎn)移到?jīng)_洗站去除酸，然后轉(zhuǎn)移到最終...

2024-10-24 標簽：晶圓蝕刻 589 0

第一原理化學反應流模型的開發(fā)和應用

本研究的目的是開發(fā)和應用一個數(shù)值模型來幫助設計和操作CDE工具，為此，我們編制了第一個已知的NF3/02氣體的等離子體動力學模型，通過與實驗蝕刻速率數(shù)據(jù)...

2022-04-13 標簽：蝕刻模型 577 0

柵欄狀蝕刻銅箔上的摻氟碳量子點界面層

由于其卓越的能量密度和長壽命，鋰離子電池(LIBs)廣泛用于電動設備，如軍用無人機、電動車輛和動力輔助服，這些設備需要高重量或體積能量密度。然而，盡管在...

2023-09-04 標簽：鋰離子電池電極蝕刻 559 0

臭氧輔助硅蝕刻技術的研究

本文章提出了一種新的半導體超鹵素深度分析方法，在通過臭氧氧化去除一些硅原子層，然后用氫氟酸蝕刻氧化物后，重復測量，然后確定了成分和表面電位的深度分布，因...

2022-04-18 標簽：半導體臭氧蝕刻 528 0

車輪圖案和寬分離的V形槽的硅蝕刻速率測量實驗

我們介紹了在氫氧化鉀溶液中蝕刻的車輪圖案和寬分離的V形槽的硅蝕刻速率測量。數(shù)據(jù)表明，當使用貨車輪圖案時，存在反應物耗盡效應，這掩蓋了真實的表面反應速率限...

2022-05-11 標簽：晶圓蝕刻測量 507 0

典型的氧化局限面射型雷射結(jié)構(gòu)

為了改善上述蝕刻柱狀結(jié)構(gòu)以及離子布植法制作面射型雷射的缺點，在1994年從德州大學奧斯丁分校獲得博士學位的D.L. Huffaker 首次發(fā)表利用選擇性...

2025-01-21 標簽：元件雷射蝕刻 485 0

半導體制程工藝小課堂6（下）基板的物理蝕刻

每日工藝小課堂集合, ? ? ?

2022-08-15 標簽：半導體蝕刻基板 432 0