SPM清洗設(shè)備（硫酸-過氧化氫混合液清洗系統(tǒng)）是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的濕法清洗設(shè)備，專為去除晶圓表面的有機(jī)物、金屬污染及殘留物而設(shè)計。其核心優(yōu)勢在于強(qiáng)氧化性、高效清潔與工藝兼容性，廣泛應(yīng)用于先進(jìn)制程（如邏輯芯片、存儲芯片、MEMS器件）的清洗環(huán)節(jié)。
核心技術(shù)亮點
強(qiáng)氧化性化學(xué)配方
采用硫酸（H?SO?）與過氧化氫（H?O?）混合溶液，通過高溫（80-120℃）反應(yīng)生成自由基，快速分解晶圓表面的有機(jī)物（如光刻膠殘留）、金屬雜質(zhì)（如銅、鋁腐蝕產(chǎn)物）及原生氧化層。
可調(diào)配比：H?O?濃度可精確控制（如2:1至5:1），適配不同污染類型與工藝需求。
高精度工藝控制
溫度均勻性：±0.5℃的精準(zhǔn)控溫，避免局部過熱導(dǎo)致晶圓損傷；
流體動力學(xué)設(shè)計：噴淋或浸泡模式可選，配合超聲波輔助，確保清洗無死角；
去離子水（DI Water）沖洗：多級純水噴淋，徹底清除化學(xué)殘留，防止二次污染。
高效自動化集成
單片式處理：獨立清洗槽設(shè)計，避免晶圓間交叉污染，良率提升顯著；
全自動流程：機(jī)械臂自動上料→清洗→干燥→下料，兼容MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)追溯；
快速切換程序：支持不同工藝參數(shù)預(yù)設(shè)（如清洗時間、溶液濃度），靈活應(yīng)對多品類晶圓需求。
環(huán)保與安全性
廢液處理系統(tǒng)：封閉式酸液回收，化學(xué)中和+過濾再生，減少危廢排放；
安全防護(hù)：耐腐蝕腔體（PFA/PTFE材質(zhì)）、防爆設(shè)計、實時監(jiān)測pH/ORP值，符合SEMI安全標(biāo)準(zhǔn)。
核心應(yīng)用場景
- 光刻膠去除：高效剝離正/負(fù)光刻膠殘留，避免殘留物影響后續(xù)圖形化工藝；
- 金屬污染清洗：去除晶圓表面銅、鋁等金屬顆粒，提升柵極氧化層質(zhì)量；
- 預(yù)處理與后清洗：用于沉積、蝕刻前后的表面活化或清潔，增強(qiáng)薄膜附著力；
- 先進(jìn)封裝清潔：適用于扇出型封裝（Fan-Out）、3D TSV等結(jié)構(gòu)的污染物清除。
行業(yè)價值
提升良品率：通過強(qiáng)氧化性去除頑固污染物，缺陷率降低至＜0.1%；
適配先進(jìn)制程：支持5nm以下節(jié)點清洗需求，滿足高性能計算芯片、HBM存儲等場景；
降本增效：化學(xué)液回收率＞80%，能耗降低20%，適配大規(guī)模量產(chǎn)；
國產(chǎn)替代：突破海外技術(shù)壟斷，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。
SPM清洗設(shè)備憑借強(qiáng)效清潔、精準(zhǔn)控制、自動化集成三大核心優(yōu)勢，成為半導(dǎo)體前道工藝中不可或缺的設(shè)備。隨著制程迭代與國產(chǎn)技術(shù)突破，其在保障芯片性能、推動產(chǎn)業(yè)升級中的戰(zhàn)略價值愈發(fā)凸顯。
