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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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汽車市場已經成為傳感器的重要應用市場,MEMS汽車傳感器作為汽車電子控制系統(tǒng)電子控制系統(tǒng)的重要信息源,對溫度、壓力、位置、轉速、加速度和振動等各種信息進...
許多MEMS 驅動器都是利用靜電力作用驅動力。在很多微型電動機和制動器的設計工作中,準確的估算靜電力大小是非常重要的。
作為20世紀最偉大的發(fā)明之一,激光器已經走過了50多年,飛秒量級的激光脈沖在20世紀70年代首先在染料激光器中實現。
顧杰斌團隊研發(fā)的MEMS-Casting?技術實現了MEMS和鑄造的完美結合
MEMS技術與鑄造的結合,緣自它們之間的一個共通點:兩者都是機械部件制造技術,區(qū)別在于尺度上存在幾個數量級差異。相對于其他機械加工方法,例如車,銑,拋等...
隨著我們對音頻無反應項目的日益復雜,我們可能決定用提供自動增益控制的麥克風代替簡單的MEMS麥克風加放大器。 這是我以前與MSGEQ7相關的文章的后續(xù)文...
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對定制IC、AMS和MEMS設計
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(AMS)和MEMS設計的產品。對物聯網(IoT)...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結構在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結構部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
TU Wien開發(fā)一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優(yōu)勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強度的設備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執(zhí)行器系統(tǒng)研究院的Andreas Kainz解釋稱...
MEMS(微型機電系統(tǒng)) 麥克風是基于MEMS技術制造的麥克風,簡單的說就是一個電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,...
基本平臺穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應分析
無人飛行器安裝的監(jiān)控設備、海上微波接收機、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺,
光開關具有一個或多個可選擇的傳輸窗口,可分為2×2,1×N,M×N多種端口配置形式。光開關在光纖通信系統(tǒng)中有著廣泛的應用,其實現技術多種多樣,包括:機械...
微流控技術是下一代醫(yī)療診斷顛覆性技術,聚合物的微加工方法
然而對于微尺度結構的加工,尤其是高深寬比結構的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對于微結構的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術,即在一個循環(huán)...
可變光衰減器包括機械式技術、可調衍射光柵技術、MEMS技術、液晶技術、磁光技術、平面光波導技術等。
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