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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS硅膜電容式壓力傳感器的基本原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計
目前敏感薄膜的材料多采用重摻雜p型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優(yōu)缺點,其選擇與目標要求和具體工藝相關(guān)。硅膜不破壞晶格,機械性能優(yōu)異,適于陽...
什么是微機電系統(tǒng) 主要種類及相關(guān)技術(shù)介紹
微機械電子系統(tǒng)是微電子技術(shù)的拓寬和延伸,它是將微電子技術(shù)和精密機械加工技術(shù)相互融合,并將微電子與機械融為一體的系統(tǒng)。MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機地聯(lián)...
近幾年,各種智能穿戴設(shè)備興起,其中智能手環(huán)、腕表更是花樣繁多,但究其根本,在核心硬件原理上,都大同小異,而傳感器作更是其中必不可少的一環(huán),下面筆者就為大...
2014-11-18 標簽:傳感器技術(shù)MEMS智能手環(huán) 2.0萬 0
微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機械、光學和電氣三個領(lǐng)域,因而是適宜作為利用Tanner EDA工具進行MEM...
Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個陀螺儀,這種傳統(tǒng)的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為,利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測量地球...
2018-01-17 標簽:mems 1.7萬 0
相信你畫過很多電路的話,接觸過很多芯片的話,應(yīng)該有些芯片是你覺得歷史中最重要的,足以影響整個世界的。
隨著智能設(shè)備的迅猛發(fā)展,市場需要更高性能的麥克風,而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設(shè)備。本文介紹了MEMS麥克...
長距離、高分辨率、低成本、高量產(chǎn)能力、車軌級別的質(zhì)量與穩(wěn)定性——RS-LiDAR-M1 Pre注定將是一款令所有寄望快速量產(chǎn)的自動駕駛量產(chǎn)車型,所翹首以...
MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System),相對于傳統(tǒng)的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米...
5G手機拆解:Reno3 5G除了聯(lián)發(fā)科天璣1000L還有哪些聯(lián)發(fā)科芯片
論5G的SoC ,Media Tek天璣1000L 必定有姓名。截止目前搭載天璣的僅OPPO Reno3 5G,拆解后,分析Reno 3內(nèi)部用多少聯(lián)發(fā)科...
2020-04-02 標簽:聯(lián)發(fā)科mems5G手機 1.6萬 0
對于ATE測試儀器儀表,典型測試設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計
由于待測器件(DUT)的復雜性提高,通道/引腳數(shù)量和功能增加,因而測試類型和所需測試數(shù)量也隨之增加。并且每個器件評估需要進行數(shù)百項測試,特別是在自動測試...
了解IMU帶寬及其在系統(tǒng)穩(wěn)定性中的應(yīng)用
無人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺,以達到最佳性能,但它們通常在可能遇到振動和其...
剖析MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品SAW,BAW, FBAR filter
Piezoelectricity這詞來源于希臘語 piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國物理學家(Pierre,Paul-Jacques C...
2018-05-10 標簽:濾波器MEMS通信系統(tǒng) 1.5萬 2
關(guān)于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)的分析
MCM方案主要通過金絲鍵線或倒裝焊的方式實現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)與ASIC系統(tǒng)的集成,與PCB方案相比,除了大幅改善SWaP指標之外,還能縮短信號路徑、減小寄生...
一款可靠且高效的固態(tài)LiDAR——大陸集團的SRL1
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達SRL1無需任何機械運動部件即可實現(xiàn)正面碰撞檢測等應(yīng)用。SRL1提供基于紅外激光技術(shù)的緊急制動輔助功能,且已經(jīng)在微型車上使用。
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