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標(biāo)簽 > 白光干涉儀
干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進(jìn)行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。
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各行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代,對檢測儀器企業(yè)提出了更高的要求。其中光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么的?光學(xué)3d表面輪廓儀是以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的,采...
2022-04-13 標(biāo)簽:白光干涉儀光學(xué)輪廓儀 1629 0
白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高...
2022-03-07 標(biāo)簽:白光干涉儀 3986 0
芯片制造流程中,當(dāng)薄膜的熱膨脹系數(shù)與晶圓基材不同時會產(chǎn)生應(yīng)力,造成晶圓翹曲,可通過測量晶圓翹曲的曲率半徑R計算應(yīng)力是否過大,判斷是否影響芯片品質(zhì)。 當(dāng)單...
上兩期介紹了粗糙度的概念、設(shè)備,也著重說明了白光干涉原理在粗糙度的應(yīng)用優(yōu)勢, 而目前半導(dǎo)體、3C制造、材料、精密加工等領(lǐng)域, 除了粗糙度,還會涉及到臺階...
通過之前的文章, 相信大家已初步了解白光干涉儀原理和優(yōu)勢。 _______________________________ 那白光干涉儀能做什么? 今天...
2023-05-11 標(biāo)簽:白光干涉儀 1317 0
SuperViewW1白光干涉儀的拼接測量功能,能夠針對樣品的同一區(qū)域進(jìn)行不同模式的檢測。3軸光柵閉環(huán)反饋,在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,可以快速實現(xiàn)大區(qū)...
【應(yīng)用案例】納米位移臺在白光干涉儀中的應(yīng)用
納米位移臺主要采用超精密運動控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動,其產(chǎn)生單軸或者多...
在芯片封裝測試流程中,半導(dǎo)體白光干涉儀可以測量晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。
2022-09-14 標(biāo)簽:白光干涉儀半導(dǎo)體白光干涉儀 2468 0
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