白光干涉儀的基本原理是通過不同的光學(xué)元件形成參考光路和探測光路，是利用干涉原理測量光程差，從而確定相關(guān)物理量的光學(xué)儀器。結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，然后通過一體化操作的測量分析軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲得反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

其中白光干涉儀的拼接功能，能夠針對樣品的同一區(qū)域進(jìn)行不同模式的檢測。SuperViewW1白光干涉儀拼接功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測量，可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，可以測量非常微小尺寸的器件；也可以使用自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，從而獲得物體整個(gè)區(qū)域的表面情況。

大尺寸樣品拼接測量

自動(dòng)拼接功能

操作步驟

1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；

3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；

5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；

6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無誤；

7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；

8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；

9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。

審核編輯黃宇