動態(tài)
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發(fā)布了方案 2023-06-02 15:53
氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏
上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.715瀏覽量 -
發(fā)布了方案 2023-06-02 15:49
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發(fā)布了方案 2023-06-02 15:37
高真空排氣臺密封性泄露檢測
上海伯東某客戶生產(chǎn)研發(fā)多工位高真空和超高真空排氣臺, 實(shí)現(xiàn)多工位同時抽真空的效果, 真空度需要穩(wěn)定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系統(tǒng)在內(nèi)的多個組件, 均需要進(jìn)行密封性泄露測試, 以保證高真空性能. 經(jīng)過上海伯東推薦真空系統(tǒng)核心組件分子泵選用德國 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用無油干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 對整個排氣臺進(jìn)行密封性檢漏.596瀏覽量 -
發(fā)布了方案 2023-06-02 15:13
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發(fā)布了方案 2023-06-02 15:06
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發(fā)布了方案 2023-06-02 14:06
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發(fā)布了方案 2023-06-02 13:30
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發(fā)布了文章 2023-06-02 13:23
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發(fā)布了文章 2023-06-02 13:17
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發(fā)布了產(chǎn)品 2023-05-26 15:04
銷售維修電容真空計(jì) PCR 280
產(chǎn)品型號:PCR 280 品牌:德國 Pfeiffer142瀏覽量