行業(yè)背景

隨著新能源汽車、5G、AI等新型應(yīng)用領(lǐng)域爆發(fā)，MOS管在電機(jī)驅(qū)動(dòng)等場(chǎng)景需求也隨之激增，國(guó)產(chǎn)替代加速，對(duì)MOS管的工藝和性能提出了更高的要求。作為重要的分立元器件之一，如此微小而精密的電子元器件是如何生產(chǎn)的呢?其中又涉及到哪些高科技工藝?今天合科泰帶您進(jìn)入MOS管的微觀世界。

MOS管的構(gòu)成與原理

MOS管全稱是MOSFET，核心結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體基地、絕緣層、柵極、源極與漏極、寄生二極管。通過(guò)電場(chǎng)調(diào)控和半導(dǎo)體特性協(xié)同，可以實(shí)現(xiàn)高效的電能控制與信號(hào)放大功能。半導(dǎo)體基地(襯底)作為載體，柵極施加電壓后，絕緣層下方電場(chǎng)可在襯底表面形成導(dǎo)電溝道;源極注入載流子，漏極收集載流子導(dǎo)通電流，通過(guò)寄生二極管固定封裝極性，簡(jiǎn)化電路設(shè)計(jì)。

MOS管制造工藝流程

MOS管的制作流程復(fù)雜且精密，主要涉及到8個(gè)大的流程，襯底準(zhǔn)備、氧化層形成、光刻與柵極制作、源漏區(qū)摻雜、退火處理、金屬化與互連。根據(jù)不同結(jié)構(gòu)的制作內(nèi)容進(jìn)行分類說(shuō)明如下：

1、材料選擇：選擇高純度的單晶硅，使用機(jī)械拋光和化學(xué)清洗的方式去除表面雜質(zhì)。

2、預(yù)處理：去除雜質(zhì)的硅片需經(jīng)過(guò)退火以及氧化處理，可形成初始氧化層增強(qiáng)表面的穩(wěn)定性，比如二氧化硅。

3、熱氧化：把硅片放置到高溫爐，其中通入氧氣和水蒸氣，可以生成通常厚度為20-300nm的二氧化硅絕緣層。

4、化學(xué)氣相沉積CVD：通過(guò)氣體反應(yīng)物在硅的表面沉積二氧化硅，可以用在形成柵氧化層或者場(chǎng)氧化層。

5、多晶硅沉積：用CVD或者PVD的方法在在絕緣層上沉積厚度約200-300nm的多晶硅層。

6、光刻與刻蝕：涂覆光刻膠并曝光掩膜圖案，顯影后保留柵極區(qū)域的多晶硅;干法刻蝕去除多余多晶硅，形成柵極結(jié)構(gòu)。

7、離子注入：通過(guò)光刻定義源漏區(qū)窗口，注入磷(N型)或硼(P型)離子，形成低摻雜濃度區(qū)域(LDD區(qū))高溫退火(約1000℃)激活摻雜劑并修復(fù)晶格損傷

8、高摻雜：在源漏區(qū)邊緣進(jìn)行二次離子注入，形成高摻雜濃度區(qū)域(如N+或P+)，降低接觸電阻

合科泰MOS管推薦

基于上述精密工藝，合科泰建立了一套標(biāo)準(zhǔn)化、流程化的品質(zhì)管理體系，全方位保證產(chǎn)品的質(zhì)量，覆蓋多場(chǎng)景應(yīng)用需求的MOS管產(chǎn)品。以下是合科泰精選在導(dǎo)通電阻、開關(guān)速度、耐壓能力等關(guān)鍵指標(biāo)具有顯著優(yōu)勢(shì)的MOS管，詳細(xì)參數(shù)如下：

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公司介紹

合科泰成立于1992年,是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售一體化的專業(yè)元器件高新技術(shù)及專精特新企業(yè)。

產(chǎn)品包括：

1、半導(dǎo)體封裝材料;2、被動(dòng)元件，主要有：電阻、電容、電感;3、半導(dǎo)體分立器件，主要有：MOSFET、TVS、肖特基、穩(wěn)壓管、快恢復(fù)、橋堆、二極管、三極管及功率器件，電源管理IC及其他集成電路等。

合科泰設(shè)有兩個(gè)智能生產(chǎn)制造中心：

1、中國(guó)華南地區(qū)的制造中心，位于惠州市博羅縣的合科泰科技智能制造園區(qū)，建筑面積75000㎡，擁有先進(jìn)設(shè)備及檢測(cè)儀器1000多臺(tái)，在當(dāng)?shù)嘏涮准瘓F(tuán)物流配送中心，而東莞塘廈生產(chǎn)中心為目前生產(chǎn)基地;

2、中國(guó)西南地區(qū)的制造中心，位于四川省南充市順慶區(qū)科創(chuàng)中心，廠房面積35000㎡，擁有先進(jìn)設(shè)備和檢測(cè)儀器儀表約2000臺(tái);

2024年合科泰全面拓寬產(chǎn)品線，在四川南充成立三家子公司，分別是順芯半導(dǎo)體、南充安昊、南充晶科，主要負(fù)責(zé)研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體封裝材料;產(chǎn)品線拓寬后將最大程度滿足客戶需求。

合科泰堅(jiān)持客戶至上、品質(zhì)第一、創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、以人為本的經(jīng)營(yíng)方針，為客戶提供一站式應(yīng)用解決方案服務(wù)。同時(shí)合科泰提供半導(dǎo)體芯片和分立器件封裝測(cè)試OEM代工等綜合性業(yè)務(wù)。合科泰在集成電路設(shè)計(jì)、芯片測(cè)試、分立器件工藝設(shè)計(jì)、可靠性實(shí)驗(yàn)等方面積累了豐富核心技術(shù)儲(chǔ)備，擁有國(guó)家發(fā)明專利、實(shí)用新型專利等100多項(xiàng)。

合科泰通過(guò)了ISO9001、ISO14001、IATF16949體系認(rèn)證。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電源、照明、醫(yī)療電子、小家電、通信、安防儀器、工控、汽車電子等領(lǐng)域。