半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體製造過程中使用的設(shè)備。 化學(xué)溶液通過將晶片浸入化學(xué)溶液（蝕刻劑）中來選擇性地去除半導(dǎo)體晶片的特定層或區(qū)域，化學(xué)溶液溶解并去除晶片表面所需的材料。

根據(jù)阿譜爾（APO）的統(tǒng)計及預(yù)測，半導(dǎo)體濕刻系統(tǒng)市場預(yù)計從2021年的101億美元增長到2028年的120億美元，復(fù)合年增長率為2.5%。

晶圓蝕刻系統(tǒng)具有化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、晶圓處理機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)等組件。 化學(xué)品供應(yīng)裝置將蝕刻劑供應(yīng)到晶片表面，晶片處理機(jī)構(gòu)將晶片移入和移出蝕刻劑浴。 控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)溫度、流量等，進(jìn)行精確、穩(wěn)定的蝕刻。

濕法蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體製造過程中不可缺少的設(shè)備，是製造微處理器、存儲芯片、傳感器等各種器件所需要的設(shè)備。 預(yù)計在預(yù)測期內(nèi)，半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)市場將受到半導(dǎo)體需求增加、技術(shù)進(jìn)步、先進(jìn)封裝技術(shù)的日益采用以及汽車和航空航天工業(yè)的增長的推動。

半導(dǎo)體濕刻設(shè)備市場增長受以下因素影響

例如：對太陽能技術(shù)的需求不斷增長

對可持續(xù)能源不斷增長的需求正在推動太陽能技術(shù)和系統(tǒng)市場的發(fā)展，增加晶體硅太陽能電池的消耗。 晶體硅太陽能電池的增長增加了濕法刻蝕系統(tǒng)的消耗。 濕法各向異性蝕刻主要用于為晶體硅太陽能電池提供表面紋理，以減少光反射并提高太陽能電池的生產(chǎn)率。 美國能源效率和可再生能源署表示，商業(yè)太陽能係統(tǒng)和電池板中使用的大多數(shù)太陽能電池的能量轉(zhuǎn)換效率，多晶太陽能電池為20%或更高，單晶太陽能電池為25%或更高。因此，據(jù)報導(dǎo)晶體硅太陽能電池占據(jù)太陽能市場85%以上的份額。 美國能源部已發(fā)起新的努力來提高這些太陽能電池的效率。 因此，有助于提高太陽能電池生產(chǎn)率的半導(dǎo)體濕法蝕刻設(shè)備的市場預(yù)計將擴(kuò)大。

航空航天和汽車行業(yè)的生產(chǎn)活動不斷增長

濕法蝕刻設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空航天和汽車行業(yè)，用于生產(chǎn)電子應(yīng)用的重要組件，例如傳感器、MEMS 器件以及安全和控制系統(tǒng)中使用的電力電子器件。 例如，硅的體微機(jī)械加工使用濕法各向異性蝕刻來創(chuàng)建適合各種 MEMS 應(yīng)用的微結(jié)構(gòu)。 因此，汽車和航空航天工業(yè)正在增加汽車和飛機(jī)的產(chǎn)量，并在其製造過程中推廣半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)的使用。 例如，根據(jù)國際汽車製造商協(xié)會的數(shù)據(jù)，印度的汽車產(chǎn)量從2021年12月的430萬輛增長到2022年12月的540萬輛。 此外，特斯拉、福特等大公司對電動汽車技術(shù)的開發(fā)正在刺激全球?qū)﹄妱悠嚨男枨?，汽車行業(yè)有望進(jìn)一步擴(kuò)張。 例如，根據(jù)國際能源署發(fā)布的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2022年國際電動汽車銷量將達(dá)到660萬輛，比2021年增長50%以上。

干法蝕刻工藝消耗的增加仍然是抑制市場增長的關(guān)鍵因素。

電子行業(yè)正在開發(fā)的某些產(chǎn)品和技術(shù)中以干法蝕刻代替濕法蝕刻正在限制半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)市場的發(fā)展。 例如，2022 年 6 月，蘋果公司宣布 LG Display 和三星等顯示器供應(yīng)商將采用干蝕刻工藝開發(fā) OLED 面板，用于製造未來的 iPad。 傳統(tǒng)上，采用濕法蝕刻工藝來製造OLED屏幕，但三星顯示器正在用先進(jìn)的干法蝕刻工藝取代它，這可以減少電子領(lǐng)域半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)的使用。 此外，各研究機(jī)構(gòu)和實驗室不斷的研發(fā)投入可能會導(dǎo)致新的干法刻蝕技術(shù)的發(fā)展，進(jìn)一步減少對濕法刻蝕系統(tǒng)的需求。 例如，2023年3月，日本名古屋大學(xué)與日立公司合作推出了一種名為“類濕式等離子體蝕刻”的新型干法蝕刻技術(shù)，應(yīng)用于數(shù)據(jù)中心和智能手機(jī)IC芯片中的金屬碳化物。

亞太地區(qū)在半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)市場中占據(jù)著顯著份額，預(yù)計在預(yù)測期內(nèi)將出現(xiàn)強(qiáng)勁增長。

技術(shù)進(jìn)步帶來的半導(dǎo)體領(lǐng)域的擴(kuò)張正在推動該地區(qū)半導(dǎo)體濕法蝕刻系統(tǒng)市場的增長。 晶圓刻蝕系統(tǒng)與光刻和沈積設(shè)備等其他半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)合使用，以生產(chǎn)復(fù)雜的集成電路和其他半導(dǎo)體器件，用于各種半導(dǎo)體製造工藝。 此外，3D封裝和異構(gòu)集成等先進(jìn)封裝技術(shù)的日益采用也推動了對復(fù)雜濕法刻蝕工藝的需求，以形成復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和圖案，從而推高了對系統(tǒng)的需求。