目前臺積電和三星的5nm工藝均已量產(chǎn)，前者代工的產(chǎn)品包括蘋果A14、蘋果M1、華為麒麟9000等，后者代工的芯片則包括三星自己的Exynos 1080以及傳言中的高通驍龍875等。

其實從7nm開始，臺積電和三星就開始引入EUV光刻，但過程層數(shù)較少。按照ASML的說法，迭代到5nm后，EUV的層數(shù)達(dá)到了14層，包括但不限于觸點、過孔以及關(guān)鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm，對EUV的依賴將更甚。

作為目前唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的荷蘭ASML來說，自然成了臺積電和三星爭搶的香餑餑，即便單臺價格達(dá)到了1.2億歐元（約合9.4億元人民幣）。

來自Digitimes的最新報道稱，臺積電為明年生產(chǎn)，已經(jīng)向ASML下定了至少13臺EUV光刻機(jī)。簡單估算的話，花費的金額超120億元人民幣。

需要明白的是，EUV光刻機(jī)不是有錢就能買，因為ASML每年的產(chǎn)能非常有限，2019年全年才出貨了26臺，今年上半年出貨了13臺，截至三季度結(jié)束累計才出貨23臺。

另外，ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻機(jī)TWINSCAN NXE:3600D，生產(chǎn)效率提升18%、機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度改進(jìn)為1.1nm，不出意外的話，臺積電應(yīng)該是首批客戶。

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