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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購(gòu)買(mǎi)這些校準(zhǔn)方案還是開(kāi)發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1277 0
我們都知道,F(xiàn)BAR濾波器就是薄膜腔聲諧振濾波器,它不同于以前的濾波器,是使用硅底板、借助MEMS技術(shù)以及薄膜技術(shù)而制造出來(lái)的,現(xiàn)階段的FBAR濾波器已...
MEMS超聲波傳感器推動(dòng)AR/VR技術(shù)的發(fā)展
傳感技術(shù)通過(guò)先進(jìn)精確的定位/運(yùn)動(dòng)檢測(cè),幫助用戶(hù)在虛擬空間中獲得現(xiàn)實(shí)的體驗(yàn)感。TDK最新的AR/VR系統(tǒng)使用飛行時(shí)間(ToF)技術(shù)來(lái)測(cè)量與某個(gè)物體的距離,...
調(diào)試MEMS加速度計(jì),為什么Y軸和Z軸的MSB輸出數(shù)據(jù)是0xFF?
本期小編將為大家分享的熱門(mén)問(wèn)答帖來(lái)自 MEMS專(zhuān)區(qū)。趕緊來(lái)看看,您是否也有相同的疑惑?
精細(xì)之至,方顯英雄本色——保證源表測(cè)量精度的小秘籍
精準(zhǔn)的測(cè)試,幾乎是所有工程師測(cè)試工作永恒的追求目標(biāo)。但這絕非易事,特別是小信號(hào)的測(cè)量。例如,半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、MEMS、發(fā)光器件等,需要測(cè)量精確伏...
2023-02-01 標(biāo)簽:mems測(cè)量?jī)x器源表 1249 0
一種新型的基于仿真的MEMS結(jié)構(gòu)進(jìn)化方法
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件具有小型化、低成本、可批量生產(chǎn)的特點(diǎn),在消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、航空航天、醫(yī)療器械和工業(yè)控制等多個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用
水壓計(jì)ILPS28QSW開(kāi)發(fā)(3)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱(chēng)為電荷變化檢測(cè)(Qvar stands for “Quasi-static VARiation”),是一種用于檢測(cè)電荷變化的技術(shù)。這種技術(shù)...
基于高溫退火非極性面氮化鋁單晶薄膜實(shí)現(xiàn)高性能聲學(xué)諧振器開(kāi)發(fā)
氮化鋁(AlN)以其超寬禁帶寬度(~6.2 eV)和直接帶隙結(jié)構(gòu),與氧化鎵、氮化硼、金剛石等半導(dǎo)體材料被并稱(chēng)為超寬禁帶半導(dǎo)體,與氮化鎵、碳化硅等第三代半...
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開(kāi)始搶奪傳統(tǒng)FOG...
為工業(yè)4.0實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的有線(xiàn)狀態(tài)監(jiān)控
機(jī)器人和旋轉(zhuǎn)機(jī)械(如渦輪機(jī)、風(fēng)扇、泵和電機(jī))的狀態(tài)監(jiān)控 (CbM) 記錄與機(jī)器運(yùn)行狀況和性能相關(guān)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)有針對(duì)性的預(yù)測(cè)性維護(hù)以及優(yōu)化控制。在機(jī)...
MEMS存儲(chǔ)器是一種新型存儲(chǔ)器件,本內(nèi)容介紹了MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的管理技術(shù),請(qǐng)求調(diào)度算法,數(shù)據(jù)布局策略等內(nèi)容
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測(cè)的MEMS加速度計(jì)的信息
市場(chǎng)上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器。這些經(jīng)濟(jì)型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
TDLS檢測(cè)利用光電二極管測(cè)量穿過(guò)氣室的激光強(qiáng)度。根據(jù)比爾-朗伯(Beer–Lambert)定律,紅外吸收技術(shù)的靈敏度與吸收路徑的長(zhǎng)度成正比,這意味著性...
阻礙智能傳感器發(fā)展的主要原因!50%的問(wèn)題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附58家頭部企業(yè)名單)
相關(guān)資料顯示, 在 MEMS 系統(tǒng)中發(fā)生的可靠性問(wèn)題 50% 來(lái)自封裝過(guò)程 。2001年左右, 封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80% ,使當(dāng)時(shí)M...
淺析pMEMS振蕩器用于工業(yè)頻率控制的設(shè)計(jì)
從消費(fèi)類(lèi)多媒體產(chǎn)品到工業(yè)自動(dòng)化和監(jiān)視系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和通信基礎(chǔ)設(shè)施以及堅(jiān)固的軍用設(shè)備,所有數(shù)字電子產(chǎn)品都有一個(gè)滴答作響的“心臟”,即一個(gè)準(zhǔn)確的振蕩器。歷史上,...
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計(jì)212頁(yè)P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類(lèi),基本敏感原理介紹,M...
基于深度學(xué)習(xí)(DL)的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的非參數(shù)化MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法
在本論文研究中,作者們提出使用深度學(xué)習(xí)技術(shù),通過(guò)快速準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)具有不同幾何結(jié)構(gòu)特征的眾多設(shè)計(jì)候選方案的物理特性,加速M(fèi)EMS設(shè)計(jì)周期。
2022-09-26 標(biāo)簽:mems機(jī)器學(xué)習(xí)深度學(xué)習(xí) 1187 0
隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷發(fā)展,其在航空航天、汽車(chē)電子、消費(fèi)電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛。作為MEMS器件的重要組成部分,封裝技術(shù)對(duì)于保...
2024-07-08 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)封裝結(jié)構(gòu) 1185 0
MEMS/NEMS結(jié)構(gòu)基于模板的廣度相位解包裹方法
在對(duì)微/納機(jī)電系統(tǒng)(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和MEMS/N...
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