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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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使用Tanner實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)所用的CMOS IC與MEMS的集成設(shè)計(jì)
實(shí)際上,許多IoT邊緣器件會(huì)在單個(gè)封裝中集成多個(gè)芯片,將電子器件與MEMS設(shè)計(jì)分開。Tanner AMS IC設(shè)計(jì)流程支持單芯片或多芯片技術(shù),因而有助于...
2018-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 3949 0
基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實(shí)現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達(dá)
“機(jī)器人和無人機(jī)是絕對(duì)可能的應(yīng)用領(lǐng)域,”Gylfason說,“目前的激光雷達(dá)系統(tǒng)對(duì)于自動(dòng)駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產(chǎn)業(yè)對(duì)成本非常敏感。其他可能的應(yīng)...
2019-04-15 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 3937 0
國(guó)內(nèi)暖通制冷領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者盾安
在生產(chǎn)和應(yīng)用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點(diǎn)也表現(xiàn)地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產(chǎn)工藝相對(duì)復(fù)雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術(shù)中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標(biāo)簽:mems 3927 0
利用冗余節(jié)點(diǎn)最佳移動(dòng)路徑算法解決節(jié)點(diǎn)移動(dòng)的節(jié)能路由問題
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測(cè)包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強(qiáng)度、壓力、土壤成分、移動(dòng)物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器的幾種技術(shù)解析
壓電MEMS微執(zhí)行器的設(shè)計(jì)難點(diǎn)包括了大位移與低驅(qū)動(dòng)電壓之間的制約、驅(qū)動(dòng)負(fù)載功率與執(zhí)行器薄型化之間的制約、不可避免的工藝誤差帶來的性能退化。針對(duì)上述性能提...
帶頻率響應(yīng)補(bǔ)償?shù)腗EMS振動(dòng)分析儀電路圖
所示電路是一款高線性度、低噪聲、寬帶寬振動(dòng)檢測(cè)解決方案。該方案適用于要求具有寬動(dòng)態(tài)范圍(±70 g、±250 g 或±500 g)以及平坦頻率響應(yīng)(從直...
2013-12-30 標(biāo)簽:ADIMEMS振動(dòng)分析儀 3900 0
如何使用壓力傳感器解決物聯(lián)網(wǎng)設(shè)計(jì)的精度問題
壓力傳感器廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用,例如無人機(jī)和工業(yè)自動(dòng)化。但是,設(shè)計(jì)人員始終面臨挑戰(zhàn),必須不斷改進(jìn)設(shè)備的精度、分辨率、抗噪能力和溫度穩(wěn)定性,同時(shí)降低成本,...
2019-03-19 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 3893 0
MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)的組成和關(guān)鍵測(cè)量技術(shù)的研究
本文基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng),通過采集MEMS器件顯微視覺圖像,利用平面亞像素運(yùn)動(dòng)位移算法和焦平面的定位,實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)MEMS器件平面和...
2019-08-30 標(biāo)簽:mems計(jì)算機(jī)機(jī)器視覺 3882 0
一個(gè)完整的傳感器到云傳感器融合系統(tǒng)設(shè)想
先前提到的過程和環(huán)境中的挑戰(zhàn)是傳感器融合問題核心設(shè)計(jì)方法的基礎(chǔ)。相關(guān)的主要傳感模式用于在關(guān)鍵操作模式中提供高性能,同時(shí)互補(bǔ)傳感器則掃除每個(gè)應(yīng)用階段的關(guān)鍵...
MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)
SMART Microsystems公司的Apanius認(rèn)為,基于MEMS的小型化解決方案將繼續(xù)推動(dòng)市場(chǎng)發(fā)展。“這是SMART Microsystems...
2019-04-08 標(biāo)簽:電動(dòng)汽車傳感器mems 3851 0
高度可靠、精密測(cè)量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測(cè)量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
MEMS麥克風(fēng)改變?cè)O(shè)備聲學(xué)性能的工作原理
想象一下不到普通麥克風(fēng)一半大小并帶有集成音頻信號(hào)處理功能,MEMS麥克風(fēng)可以作為單芯片手機(jī)一個(gè)集成部分。新型MEMS麥克風(fēng)的全部潛能還有待挖掘,但是第一...
自動(dòng)駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備導(dǎo)遠(yuǎn)570D拆解
這期帶來自動(dòng)駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備拆解,本次拆解分析的產(chǎn)品是導(dǎo)遠(yuǎn)570D。
2023-11-01 標(biāo)簽:memsGNSS導(dǎo)航設(shè)備 3826 0
目前,接近傳感器在航空航天、工業(yè)生產(chǎn)、交通運(yùn)輸、消費(fèi)電子等各行各業(yè)的領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用, 下面介紹幾種典型的應(yīng)用場(chǎng)景,以便能為你在接近傳感器的應(yīng)用設(shè)計(jì)...
電磁MEMS基本原理-MEMS掃描微鏡和MEMS開關(guān)
電磁驅(qū)動(dòng)型掃描微鏡是依據(jù)帶電線圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)來驅(qū)動(dòng)的。電磁微鏡最明 顯的優(yōu)勢(shì)是僅在低電壓低電流的驅(qū)動(dòng)下就可以達(dá)到較大的微鏡角度偏轉(zhuǎn),同時(shí)也 具有偏轉(zhuǎn)速度...
2023-01-29 標(biāo)簽:mems電磁場(chǎng)微鏡 3794 0
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會(huì)有小型化的趨勢(shì)。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效,另一方面,日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。
2023-07-05 標(biāo)簽:濾波器mems通信系統(tǒng) 3794 0
面向條件監(jiān)測(cè)的MEMS加速度計(jì)產(chǎn)品演示
這款最新類型的MEMS加速度計(jì)具有低噪聲、高工作頻率性能,針對(duì)條件監(jiān)測(cè)可實(shí)現(xiàn)全新的產(chǎn)品設(shè)計(jì)。MEMS加速度計(jì)采用單電源工作,具有穩(wěn)定的靈敏度、抗沖擊、低...
加速度傳感器是一種感應(yīng)物體加速度的變化,并將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的器件。加速度傳感器和其它傳感器(陀螺儀等)以及相關(guān)算法相融合,可用于感測(cè)物體運(yùn)動(dòng)相關(guān)的情況,...
精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱為芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個(gè)大型實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 3769 0
目前,傳感器在物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展中正扮演者越來越重要的角色,目前傳感器產(chǎn)品需求大幅增加,并且重心逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域,MEMS傳感器的精確度...
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