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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems技術

駐極體電容式麥克風的參數(shù)規(guī)格及設計

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2022-08-31 標簽：mems 聲光電光效應 5088 0

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一文看懂MEMS傳感器

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二氧化碳光聲傳感技術

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MEMS器件在真無線立體聲耳塞中的應用

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