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齒式微機械加速度計是一種敏感電容極板間距變化的電容式傳感器，通過靜電力反饋構成力平衡式的閉環(huán)
系統。為了滿足穩(wěn)定性、快速性等要求，需要采用校正電路。但在工程中，由于微機械加工工藝不穩(wěn)定，造成微機
械表頭性能具有較大的離散性。本文根據控制理論結合工程試驗，給出了針對不同參數進行表頭校正電路設計的方
法。其主要內容是通過微機械表頭的轉角頻率和低頻增益對敏感結構進行分類校正，使系統在滿足帶寬的前提下在
全量程范圍內具有要有良好的穩(wěn)定裕量。并且為了適應工程應用，電路采用兩級運放的簡單形式，為電路冗余設計
提供了方便。通過較多數量的試驗驗證，此種方法對閉環(huán)系統的穩(wěn)定性、帶寬有很好的控制作用。
系統。為了滿足穩(wěn)定性、快速性等要求，需要采用校正電路。但在工程中，由于微機械加工工藝不穩(wěn)定，造成微機
械表頭性能具有較大的離散性。本文根據控制理論結合工程試驗，給出了針對不同參數進行表頭校正電路設計的方
法。其主要內容是通過微機械表頭的轉角頻率和低頻增益對敏感結構進行分類校正，使系統在滿足帶寬的前提下在
全量程范圍內具有要有良好的穩(wěn)定裕量。并且為了適應工程應用，電路采用兩級運放的簡單形式，為電路冗余設計
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