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      半導(dǎo)體工藝技術(shù)

      2011-10-31 | pdf | 50 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?

      Chapter 1. Progress and Main Factors of Semiconductor Technology
      ?Invention of Transistor and Integrated Circuits
      ?From SSI to VLSI/ULSI/SLSI
      ?Device Miniaturization---The Key of Progress
      Micro-fabrication Technology---The Way to Progress
      ?Si and its based Thin Films---The Material Base for Progress
      ?Moore’s Law
      ?Semiconductor Technology Roadmap
      ?Leading Edge CMOS Technology
      ?Microelectronics Revolution and Information Age
      ?From Micro- to Nano-
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