掃描電子顯微鏡（SEM）原理

電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)聚光鏡和物鏡聚焦后，形成極細(xì)的電子束在樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描。電子束與樣品表面相互作用，激發(fā)出二次電子、背散射電子等信號(hào)。其中二次電子對(duì)樣品表面的形貌非常敏感，這些二次電子被探測(cè)器收集，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再經(jīng)過處理后在顯像管或顯示屏上形成反映樣品表面形貌的三維圖像。
應(yīng)用場景：
主要用于觀察樣品的表面形貌，如材料的斷口、晶體的表面生長形態(tài)、生物樣品的細(xì)胞表面結(jié)構(gòu)等，在材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、法醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

按電子槍種類分類，鎢絲槍掃描電鏡使用熱鎢極電子槍，陰極為能加熱的鎢絲。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、成本較低、適用性強(qiáng)、維護(hù)費(fèi)用低。具有以下產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1、操作維護(hù)簡便

設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單：相比場發(fā)射掃描電鏡等，其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單，操作界面友好，易于上手操作，減少了操作人員的培訓(xùn)成本和時(shí)間。

維護(hù)成本較低：維護(hù)和調(diào)試過程相對(duì)容易，維護(hù)費(fèi)用也較低，鎢絲槍的更換和日常保養(yǎng)較為便捷，降低了設(shè)備的長期運(yùn)營成本。

2、適應(yīng)性強(qiáng)

真空要求較低：可以在相對(duì)較低的真空度下工作（<10Pa），適用于多種不同類型的樣品，對(duì)于一些難以在高真空環(huán)境下保持穩(wěn)定的樣品，如含有一定水分或易揮發(fā)成分的樣品，也能夠進(jìn)行觀察。

樣品類型廣泛：能夠觀察導(dǎo)電和不導(dǎo)電的材料，無論是金屬、陶瓷等導(dǎo)電材料，還是塑料、生物樣品等不導(dǎo)電材料，都可以在鎢絲槍掃描電鏡下進(jìn)行成像分析。

3、總發(fā)射電流穩(wěn)定

抗干擾能力強(qiáng)：總發(fā)射電流和光斑大，性能穩(wěn)定，抗震和抗干擾能力較強(qiáng)，能夠在一定程度上抵御外界環(huán)境因素的干擾，保證成像的穩(wěn)定性和可靠性，在一些環(huán)境條件相對(duì)復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)室或工業(yè)現(xiàn)場也能較好地工作。