據(jù)媒體報道，新松機器人宣稱擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設(shè)備項目、半導(dǎo)體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。

作為國內(nèi)僅有的一家真空機械手的供應(yīng)商，去年機器人真空機械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)（002371）、中科院微電子研究所等企業(yè)和機構(gòu)，有望在國內(nèi)全面推廣。

眾所周知，新松機器人成立于2000年，隸屬中國科學(xué)院，是中國第一家從事機器人產(chǎn)業(yè)化和實現(xiàn)機器人出口的企業(yè)。新松機器人產(chǎn)品線齊全，涵蓋工業(yè)機器人、潔凈機器人、移動機器人、特種機器人及智能服務(wù)機器人五大系列。

機器人進軍半導(dǎo)體行業(yè)是一種挑戰(zhàn)

半導(dǎo)體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當(dāng)中又有著很多復(fù)雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸?shù)鹊取C器人進軍半導(dǎo)體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。

半導(dǎo)體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導(dǎo)體產(chǎn)品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產(chǎn)，能夠有精準到5mm的重復(fù)定位等等。

進軍半導(dǎo)體市場，抓住產(chǎn)業(yè)鏈遷移機遇

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國大陸遷移，英特爾、三星等國際大廠陸續(xù)在我國大陸地區(qū)投資建廠，大陸對半導(dǎo)體領(lǐng)域自動化設(shè)備需求提升。

基于此，新松開始進軍半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域：2009年、2011年新松開始承擔(dān)兩大國家集成電路“02專項“項目，加大了對半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)；2018年，新松機器人開始設(shè)立半導(dǎo)體裝備BG，主要面向以芯片制造，面板制造為代表的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，提供設(shè)備與自動化解決方案。目前，新松已經(jīng)成功研發(fā)了國內(nèi)首臺具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的新型雙臂大氣機械手，并且通過了終端用戶華創(chuàng)、中微等客戶驗證。

除了在產(chǎn)品開發(fā)上加大力度，新松在資本層面也采取了相應(yīng)動作。2018年1月，新松以約6.4億元人民幣收購韓國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)新盛旗下公司80%的股權(quán)。不難看出，通過這些舉措，新松希望在下一個行業(yè)爆發(fā)點來臨前搶占先機。

擬募資18億新建半導(dǎo)體設(shè)備

新松此次擬向特定對象發(fā)行股票的募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機械手及集束型設(shè)備項目、半導(dǎo)體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。

此前新松已研制了系列化潔凈真空機器人產(chǎn)品，包括大氣機械手系列產(chǎn)品（潔凈度達到 Class1）、集成電路裝備真空機械手系列產(chǎn)品（真空度達到最高 1×10-6 Pa）。真空直驅(qū)機器人打破國外壟斷，可以實現(xiàn)直接替代；自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲系統(tǒng)（Stocker）、 潔凈軌道系統(tǒng)、空中無人搬運車（OHT）等，公示可以為半導(dǎo)體工廠提供整套自動物料搬運系統(tǒng)；而新松承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項目，其中也包含ACS系統(tǒng)（類似MCS的系統(tǒng)，規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小）的子訂單，具有先天優(yōu)勢。

上述三個項目建成后，年預(yù)計可實現(xiàn)年均營業(yè)收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計達到23.75億元。而去年公司全年營收27.45億元，此次擴產(chǎn)項目若達成目標(biāo)將增加營收85%。

機器人將半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)確定為三大業(yè)務(wù)板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導(dǎo)體裝備事業(yè)部，完善在集成電路設(shè)備自動化與自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）產(chǎn)業(yè)的布局，潔凈真空機器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)高端的成套裝備，半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)（MCS）產(chǎn)業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務(wù)。

應(yīng)用半導(dǎo)體，新松已走在前列

目前新松研發(fā)的真空機械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)。集束型設(shè)備行業(yè)應(yīng)用涵蓋半導(dǎo)體 CMP 清洗設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體涂膠設(shè)備等，且實現(xiàn)小批量示范應(yīng)用；半導(dǎo)體自動搬運系統(tǒng)（AMHS）已經(jīng)實現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用，并成功應(yīng)用于Sandisk、賽意法等半導(dǎo)體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動物料搬運系統(tǒng)，已經(jīng)在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實現(xiàn)成熟應(yīng)用。

2012年以來，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求迅猛增長，中國是全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場，2018年達到131.10億美元，但國產(chǎn)設(shè)備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導(dǎo)體設(shè)備依然依靠進口，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化空間仍然巨大。并且半導(dǎo)體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，全球該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的封鎖，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對于自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）需求迫切。

而新松是國內(nèi)唯一一家真空機械手的供應(yīng)商，而新松自主研發(fā)的面向半導(dǎo)體行業(yè)的高端裝備自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）已經(jīng)形成了獨立產(chǎn)品線，可以逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

潔凈（真空）機器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。

目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國內(nèi)市場50%以上份額。

新松復(fù)合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導(dǎo)航等技術(shù)，可快速布局自動化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP，CST，MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。
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