動態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-07-02 09:49
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發(fā)布了文章 2025-06-26 09:46
自動對刀技術對碳化硅襯底切割起始位置精度的提升及厚度均勻性優(yōu)化
摘要:碳化硅襯底切割對起始位置精度與厚度均勻性要求極高,自動對刀技術作為關鍵技術手段,能夠有效提升切割起始位置精度,進而優(yōu)化厚度均勻性。本文深入探討自動對刀技術的作用機制、實現(xiàn)方式及其對切割工藝優(yōu)化的重要意義。 一、引言 碳化硅襯底是第三代半導體器件的核心基礎材料,其切割質量直接影響器件性能與成品率。在碳化硅襯底切割過程中,起始位置精度不足會導致切割路徑偏186瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-06-25 11:22
碳化硅襯底切割進給量與磨粒磨損狀態(tài)的協(xié)同調控模型
摘要:碳化硅襯底切割過程中,進給量與磨粒磨損狀態(tài)緊密關聯(lián),二者協(xié)同調控對提升切割質量與效率至關重要。本文深入剖析兩者相互作用機制,探討協(xié)同調控模型構建方法,旨在為優(yōu)化碳化硅襯底切割工藝提供理論與技術支撐。 一、引言 碳化硅憑借優(yōu)異的物理化學性能,成為第三代半導體材料的核心。在其襯底加工環(huán)節(jié),切割是關鍵工序。切割進給量直接影響切割效率與材料去除率,而磨粒磨損205瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-06-14 09:42
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發(fā)布了文章 2025-06-13 10:07
基于進給量梯度調節(jié)的碳化硅襯底切割厚度均勻性提升技術
碳化硅襯底切割過程中,厚度不均勻問題嚴重影響其后續(xù)應用性能。傳統(tǒng)固定進給量切割方式難以適應材料特性與切割工況變化,基于進給量梯度調節(jié)的方法為提升切割厚度均勻性提供了新思路,對推動碳化硅襯底加工技術發(fā)展具有重要價值。 技術原理分析 梯度調節(jié)依據 碳化硅硬度高、脆性大,切割起始階段,材料表面完整,刀具與材料接觸狀態(tài)穩(wěn)定,可采用相對較大的進給量提高加工效率215瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-06-12 10:03