今年4月初,晶圓代龍頭大廠臺積電宣布,其5nm制程已正式進入試產(chǎn)階段,并已在開放創(chuàng)新平臺下推出完整的5nm設計架構?,F(xiàn)在,臺積電官方又宣布,正式啟動2nm工藝的研發(fā),工廠設置在位于***新竹的南方科技園,預計2024年投入生產(chǎn)。
按照臺積電給出的指標顯示,2nm工藝是一個重要節(jié)點,Metal Track(金屬單元高度)和3nm一樣維持在5x,同時Gate Pitch(晶體管柵極間距)縮小到30nm,Metal Pitch(金屬間距)縮小到20nm,相比于3nm都小了23%。
臺積電沒有透露2nm工藝所需要的技術和材料,看晶體管結(jié)構示意圖和目前并沒有明顯變化,能在硅半導體工藝上繼續(xù)壓榨到如此地步真是堪稱奇跡,接下來就看能不能做到1nm了。當然,在那之前,臺積電還要接連經(jīng)歷7nm+、6nm、5nm、3nm等多個工藝節(jié)點。
其中,臺積電的7nm+工藝將首次引入EUV極紫外光刻技術,目前已即將量產(chǎn);而6nm只是7nm的一個升級版,預計明年第一季度試產(chǎn);5nm工藝將全面導入EUV光刻,已經(jīng)開始風險性試產(chǎn),明年底之前有望實現(xiàn)量產(chǎn),蘋果A14、AMD五代銳龍(Zen 4都有望采納);3nm有望在2021年試產(chǎn)、2022年量產(chǎn)。三星也早就規(guī)劃到了3nm,預期2021年量產(chǎn)。
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原文標題:臺積電宣布啟動2nm工藝研發(fā),預計2024年投產(chǎn)
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