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意法半導(dǎo)體下的“冰下世界”

NJ90_gh_bee81f8 ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:工程師譚軍 ? 2018-07-12 11:05 ? 次閱讀
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TechInsights自2000年以來一直在關(guān)注意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics;ST)的“雙極-互補金屬氧化半導(dǎo)體-雙重擴散金屬氧化半導(dǎo)體”(Bipolar-CMOS-DMOS;BCD)技術(shù)進展。在2000年時,TechInsights還曾經(jīng)拆解一款1999年的0.8μm BCD組件,并執(zhí)行結(jié)構(gòu)化與電氣特性的分析。

BCD技術(shù)在單一芯片上整合了CMOS邏輯、DMOS、橫向擴散MOS晶體管(LDMOS)和雙極晶體管。DMOS和LDMOS晶體管通常用于制作高壓或更高功率輸出的驅(qū)動器晶體管,而雙極晶體管則提供模擬功能。

意法半導(dǎo)體是BCD技術(shù)的市場領(lǐng)導(dǎo)者之一,聲稱在1980年代中期就發(fā)明了這項技術(shù)。但其他供應(yīng)商也提供這項技術(shù),包括德州儀器(Texas Instruments;TI)、英飛凌(Infineon)、愛特梅爾(Atmel)、Maxim,以及像臺積電(TSMC)等主要的代工廠商。

意法半導(dǎo)體目前提供三種主要的BCD技術(shù),對應(yīng)0.32μm、0.16μm和0.11μm技術(shù)分別表示為BCD6、BCD8和BCD9。此外,該公司宣稱目前正在開發(fā)90納米(nm)的BCD10技術(shù)。

最近,TechInsights購買了一款支持I2C診斷、數(shù)字阻抗計和低電壓操作功能的意法半導(dǎo)體FDA801B-VYY 4x50W D類(class-D)數(shù)字輸入功率放大器樣本(如下圖所示)。它采用了最新的BCD9s技術(shù)制造,并搭配有模擬、邏輯和LDMOS功率晶體管區(qū)塊(block)。

在2015年,意法半導(dǎo)體曾經(jīng)宣布BCD9s技術(shù)將會是其BCD9 0.13μm工藝技術(shù)的第二代。根據(jù)TechInsights的初步分析發(fā)現(xiàn)了幾項關(guān)鍵的新功能,包括增加了一個厚頂?shù)闹夭季€層(RDL)。在該邏輯晶體管上觀察到的最小接觸閘極間距為0.6μm,顯示它采用的是0.13μm工藝,而非意法半導(dǎo)體宣稱為BCD9s采用的0.11μ工藝。

該技術(shù)目前整合了三種隔離類型:深溝槽隔離(DTI),用于隔離各種不同的電路區(qū)塊;CMOS邏輯采用淺溝槽隔離(STI);而LDMOS功率晶體管區(qū)塊則使用硅上局部氧化(LOCOS)隔離。這是TechInsights第一次看到在單一芯片上整合了所有的三種隔離類型。

先前的0.13μm BCD9工藝于2015年上市。該技術(shù)具有銅金屬化特性,整合了現(xiàn)在廣泛的BCD特性數(shù)組,包括N型和P型LDMOS晶體管、金屬-絕緣體-金屬(MIM)電容器、6T-SRAM和雙極晶體管。

而在BCD9世代之前,意法半導(dǎo)體于2011年左右發(fā)布的是BCD8技術(shù)。它具有0.18μm CMOS閘極和4層化學(xué)機械研磨(CMP)的平面化鋁金屬,加上2層含硅化鈷的多晶硅,以及淺溝槽隔離(STI)。此外,還發(fā)現(xiàn)了N型和P型LDMOS晶體管,加上雙極晶體管、多晶硅-絕緣層-多晶硅(PIP)電容器和6T-SRAM內(nèi)存。

BCD技術(shù)持續(xù)成為電力電子市場空間中積極創(chuàng)新的領(lǐng)域。相較于先進的CMOS——挑戰(zhàn)在于將最大數(shù)量的MOS晶體管整合至特定區(qū)域,BCD技術(shù)是由整合各種不同主動組件于單芯片的需求而驅(qū)動的。這需要仔細地均衡每種組件類型的不同工程需求。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:藏在ST最新BCD節(jié)點里的秘密工藝

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