99精品伊人亚洲|最近国产中文炮友|九草在线视频支援|AV网站大全最新|美女黄片免费观看|国产精品资源视频|精彩无码视频一区|91大神在线后入|伊人终合在线播放|久草综合久久中文

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

硅清洗機配件有哪些

芯矽科技 ? 2025-07-21 14:38 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

硅清洗機的配件種類繁多,具體取決于清洗工藝類型(如濕法化學清洗、超聲清洗、等離子清洗等)和設備結(jié)構(gòu)。以下是常見的配件分類及典型部件:

一、核心功能配件

清洗槽(Tank)

  • 材質(zhì):耐腐蝕材料(如PFA、PTFE、聚丙烯PP或不銹鋼316L)。
  • 類型:單槽、多槽串聯(lián)(如RCA清洗用SC-1/SC-2槽)、噴淋槽等。
  • 功能:容納清洗液(如DHF、BOE、SC溶液等),直接接觸硅片。

超聲系統(tǒng)(Ultrasonic System)

  • 換能器(Transducer):將電能轉(zhuǎn)換為高頻振動(典型頻率28kHz/40kHz/80kHz)。
  • 超聲波發(fā)生器(Generator):調(diào)節(jié)功率(通常50-500W)和頻率。
  • 共振板(Resonator Plate):均勻分布聲波,增強空化效應。
  • 耦合液:如去離子水,避免硅片與換能器直接接觸導致?lián)p壞。

噴淋系統(tǒng)(Spray System)

  • 噴頭(Nozzle):石英或PFA材質(zhì),防止腐蝕和污染。
  • 壓力調(diào)節(jié)閥:控制噴淋壓力(0.1-0.5MPa)。
  • 過濾模塊:去除噴淋液中的顆粒(如0.1μm過濾器)。

加熱與溫控系統(tǒng)

  • 加熱盤(Heater Plate):電阻加熱或蒸汽加熱,溫度范圍常溫至100℃。
  • 溫度傳感器(RTD或熱電偶):實時監(jiān)控并反饋至控制器。
  • 隔熱層:減少熱量散失,提高能效。

二、流體處理配件

泵與閥門

  • 耐腐蝕泵:如氟塑料磁力泵(輸送DHF、BHF等強腐蝕性液體)。
  • 電磁閥/氣動閥:控制清洗液進出,材質(zhì)需兼容化學介質(zhì)。
  • 流量計:監(jiān)測液體流量(如蠕動泵或質(zhì)量流量計)。

過濾系統(tǒng)

  • 在線過濾器:0.1-0.5μm濾芯(如PTFE或尼龍材質(zhì)),防止顆粒二次污染。
  • 循環(huán)過濾模塊:保持清洗液潔凈度(如UF超濾系統(tǒng))。
  • DI水樹脂交換柱:用于純水制備(電阻率≥18.2MΩ·cm)。

管道與密封件

  • PFA/PTFE管路:耐腐蝕、耐高溫,適用于酸堿溶液傳輸。
  • 密封圈(O-ring):氟橡膠(FKM)或全氟橡膠(FFKM),耐化學腐蝕。
  • 快速接頭:方便更換槽體或維護。

三、硅片傳送與固定配件

載具(Cassette/Basket)

  • 材質(zhì):PFA或陽極氧化鋁(避免金屬污染)。
  • 結(jié)構(gòu):多孔設計(如網(wǎng)格籃),確保清洗液充分接觸硅片。
  • 防靜電處理:防止吸附顆粒。

機械手臂(Robotic Arm

  • 抓取指套:硅膠或PTFE材質(zhì),避免劃傷硅片表面。
  • 運動軌道:高精度線性導軌,定位精度±0.1mm。

旋轉(zhuǎn)夾持器(Rotary Holder)

  • 適用場景:單晶硅棒或大尺寸硅片(如300mm晶圓)的垂直清洗。
  • 轉(zhuǎn)速控制:可調(diào)(通常10-100rpm),促進均勻腐蝕。

四、輔助功能配件

干燥系統(tǒng)

  • 離心干燥機:高速旋轉(zhuǎn)(2000-5000rpm)甩干硅片。
  • 氮氣吹掃裝置:配合熱風(如IR燈)加速干燥,防止水痕殘留。
  • 真空干燥腔:低溫烘干(<60℃),避免高溫損傷。

廢氣處理模塊

  • 冷凝器:回收揮發(fā)性溶劑(如IPA、丙酮)。
  • 活性炭過濾器:吸附酸性氣體(如HF、Cl?)。
  • 排風風機:防爆型,風量≥500m3/h。

檢測與監(jiān)控配件

  • 在線pH計/電導率儀:實時監(jiān)測清洗液狀態(tài)。
  • 顆粒計數(shù)器:檢測清洗后硅片表面潔凈度(如<10顆/cm2)。
  • 攝像頭系統(tǒng):觀察槽內(nèi)硅片狀態(tài),防止堆疊或傾斜。

五、典型配件組合示例

濕法超聲清洗機配件清單

  • 聚丙烯清洗槽(帶加熱盤)
  • 40kHz超聲波發(fā)生器+PTFE共振板
  • PFA管路+氟橡膠密封圈
  • 耐腐蝕磁力泵+電磁閥
  • 載具(PFA材質(zhì),25片容量)
  • DI水樹脂柱+在線過濾器(0.2μm)

等離子清洗機配件清單

  • 石英腔體(耐臭氧腐蝕)
  • 射頻電源(13.56MHz)
  • 氧氣/氬氣質(zhì)量流量計
  • 真空系統(tǒng)(干泵+壓力傳感器
  • 靜電消除棒(防止硅片吸附)

六、選購與維護建議

  1. 兼容性優(yōu)先:根據(jù)清洗液類型(如BOE、SC-1)選擇耐腐蝕材質(zhì)(如PFA>PP>不銹鋼)。
  2. 模塊化設計:便于升級(如增加噴淋功能或更換超聲頻率)。
  3. 定期維護:
    • 清洗槽每周用HF稀溶液去除沉積物;
    • 超聲波換能器每月檢測共振頻率;
    • 密封圈每季度更換(尤其強酸環(huán)境)。

通過合理選擇和搭配配件,可顯著提升硅片清洗效率、降低缺陷率(如顆粒污染、劃痕)并延長設備壽命。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
  • 硅片
    +關(guān)注

    關(guān)注

    13

    文章

    383

    瀏覽量

    35180
  • 清洗機
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    209

    瀏覽量

    16903
收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評論

    相關(guān)推薦
    熱點推薦

    清洗 腐蝕設備

    本帖最后由 青島晶誠電子設備 于 2017-12-15 13:48 編輯 青島晶誠電子設備公司主營產(chǎn)品:半導體設備(SemiconductorEquipment):硅片清洗機/晶圓清洗機
    發(fā)表于 12-15 13:41

    氧化皮清洗機不為人知的小秘密

    `力泰科技資訊:氧化皮清洗機作為力泰科技的一款主推產(chǎn)品,讓大多數(shù)人熟知,說它是力泰科技的“名片”也不為過。其實力泰科技氧化皮清洗機一些“小秘密”,可能只有用過的老板才知曉?,F(xiàn)在,小編就與您分享一二
    發(fā)表于 09-25 14:57

    如何解決超聲波清洗機的散熱

    效果,靜音模式,綠色安全穩(wěn)定都極大改變了以往的散熱方式。在眾多領域已經(jīng)開始使用水冷散熱,如新能源、LED、激光等,加快了水冷散熱的發(fā)展。超聲波清洗機也不例外,已經(jīng)不少企業(yè)開始采用這種散熱方式。在將來會有更多設備引進水冷散熱。 <p>`
    發(fā)表于 11-21 15:04

    超聲波清洗機拆解

    超聲波清洗機 - 拆機與逆向工程這幾天拆解了一個超聲波清洗機,跟大家分享一下。這個外接12V電源適配器來給充電電池充電,可以不帶電源適配器工作。操作簡單,只有一個按鍵,4個電池指示燈。長按3秒開機
    發(fā)表于 09-14 06:47

    高壓清洗機的結(jié)構(gòu)組成部分

    滿意答案高壓清洗機作為高溫高壓的水清洗設備,對于油污有著較好的清洗效果。高溫高壓清洗機出水壓力高,溫度高,清洗效果好。高壓
    發(fā)表于 09-16 08:31

    高壓清洗機的結(jié)構(gòu)是由哪些部分組成的

    什么是高壓清洗機?高壓清洗機的工作原理是什么?高壓清洗機的結(jié)構(gòu)是由哪些部分組成的?
    發(fā)表于 11-05 08:08

    超聲波清洗機的特性及原理

    如今不論是餐飲業(yè)或是制造業(yè)都相繼運用超聲波清洗機做為日常清洗的專用工具,其實我們?nèi)粘I钜灿蟹浅6喑暡?b class='flag-5'>清洗機的應用,比如眼鏡店、珠寶店的清洗機,家用的小型
    發(fā)表于 08-26 14:35 ?7507次閱讀

    超聲波清洗機的工作原理

    很多客戶都不知道怎么去選擇適合清洗自己產(chǎn)品的超聲波清洗機,有些客戶買了超聲波清洗機后覺得清洗的不干凈;還有些客戶覺得
    的頭像 發(fā)表于 07-15 11:01 ?1.1w次閱讀

    多方面齊全超聲波清洗機—單槽超聲波清洗機的功效

    多方面齊全超聲波清洗機多方面齊全超聲波清洗機—單槽超聲波清洗機介紹單槽超聲波清洗機,簡單的說就是一種利用超聲波來清洗的機械設備。單槽超聲波
    的頭像 發(fā)表于 10-14 17:05 ?1648次閱讀
    多方面齊全超聲波<b class='flag-5'>清洗機</b>—單槽超聲波<b class='flag-5'>清洗機</b>的功效

    超聲波清洗機的4大清洗特點與清洗原理

    一、超聲波清洗機的4大清洗特點 1. 高效性:超聲波清洗機利用高頻振動產(chǎn)生的微小氣泡在物體表面進行沖擊和剝離,從而實現(xiàn)對物體表面的高效清洗。相比傳統(tǒng)的手工
    的頭像 發(fā)表于 03-04 09:45 ?2167次閱讀
    超聲波<b class='flag-5'>清洗機</b>的4大<b class='flag-5'>清洗</b>特點與<b class='flag-5'>清洗</b>原理

    超聲波清洗機常用的頻率及清洗特點

    超聲波清洗機是一種利用超聲波振動原理進行清洗的設備,廣泛應用于工業(yè)、醫(yī)療、實驗室等領域。不同的超聲波清洗機使用的頻率不同,而頻率的不同也會影響到清洗的效果和特點。本文將對超聲波
    的頭像 發(fā)表于 04-15 14:14 ?4335次閱讀
    超聲波<b class='flag-5'>清洗機</b>常用的頻率及<b class='flag-5'>清洗</b>特點

    什么品牌的激光清洗機

    激光清洗機現(xiàn)已成為一種應用廣泛的高科技清洗設備,其清洗效果明顯優(yōu)于傳統(tǒng)的清洗方式。如果您考慮選擇哪家激光清洗機,那么你可以了解一下上海圣同智
    的頭像 發(fā)表于 08-09 14:31 ?856次閱讀
    什么品牌的激光<b class='flag-5'>清洗機</b>好

    SiC清洗機哪些部件構(gòu)成

    想要了解一款機器,就不能錯過一點一滴,從全方面細節(jié)來了解。今天我們就按照大家的要求與想法,一起來看看SIC清洗機的構(gòu)成部件都有哪些: SiC清洗機是一種用于清洗碳(Silicon C
    的頭像 發(fā)表于 01-13 10:11 ?513次閱讀
    SiC<b class='flag-5'>清洗機</b><b class='flag-5'>有</b>哪些部件構(gòu)成

    光學清洗機和超聲波清洗機什么區(qū)別?

    光學清洗機和超聲波清洗機是兩種常見的清潔設備,廣泛應用于精密清洗領域,如電子、醫(yī)療、汽車、光學等行業(yè)。這兩種機器雖然都是用來清洗零部件,但它們的工作原理、效率和適用范圍都有所不同。光學
    的頭像 發(fā)表于 05-27 17:34 ?250次閱讀
    光學<b class='flag-5'>清洗機</b>和超聲波<b class='flag-5'>清洗機</b><b class='flag-5'>有</b>什么區(qū)別?

    玻璃清洗機能提高清洗效率嗎?使用玻璃清洗機哪些好處?

    玻璃清洗機可以顯著提高清洗效率,并且在許多方面都具有明顯的好處。以下是一些使用玻璃清洗機的好處:1.提高效率:玻璃清洗機使用自動化和精確的清洗
    的頭像 發(fā)表于 05-28 17:40 ?186次閱讀
    玻璃<b class='flag-5'>清洗機</b>能提高<b class='flag-5'>清洗</b>效率嗎?使用玻璃<b class='flag-5'>清洗機</b><b class='flag-5'>有</b>哪些好處?