應(yīng)力耐受性在確保用于柔性壓力傳感器的壓阻傳感膜的有效性方面起著至關(guān)重要的作用。然而，現(xiàn)有提高應(yīng)力耐受性的方法包括在復(fù)雜的成型和脫模過(guò)程中使用圓頂形、褶皺形和金字塔形微結(jié)構(gòu)，這帶來(lái)了巨大的制造挑戰(zhàn)并限制了傳感性能。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近期，西安交通大學(xué)的研究人員在由多壁碳納米管（MW-CNT）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）制成的傳感膜中引入周期性微縫（microslit），實(shí)現(xiàn)了超高的應(yīng)力耐受性（理論最大值為2.477 MPa）和18.092 kPa?1的靈敏度。周期性微縫允許在高壓（例如400 kPa）下大范圍變形，以擴(kuò)大檢測(cè)范圍。基于微縫策略的傳感器在風(fēng)向檢測(cè)、機(jī)器人運(yùn)動(dòng)傳感和人體健康監(jiān)測(cè)方面的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該方案的有效性。在這些實(shí)驗(yàn)中，在超過(guò)400 kPa的超高壓和接觸面積占總面積的比例為32.74%的情況下，實(shí)現(xiàn)了車(chē)輛載荷檢測(cè)。結(jié)果表明，本論文所提出的微縫策略在簡(jiǎn)化微結(jié)構(gòu)傳感膜制備復(fù)雜性的同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)超高的應(yīng)力耐受性。相關(guān)研究成果以“Flexible pressure sensors with ultrahigh stress tolerance enabled by periodic microslits”為題發(fā)表在Microsystems & Nanoengineering期刊上。

在這項(xiàng)研究中，所提出的傳感器包括柔性電極、支撐層和粘合層、傳感膜和保護(hù)層。使用MW-CNT和PDMS的混合物，采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備傳感膜。該方法允許對(duì)傳感膜進(jìn)行直接的圖案化和排列。通過(guò)將微縫引入具有不同MW-CNT/PDMS重量比的傳感膜中，觀(guān)察到了各種不同的周期性微縫形態(tài)?；谘芯拷Y(jié)果，微縫和MW-CNT/PDMS的協(xié)同作用主導(dǎo)了傳感形態(tài)的轉(zhuǎn)變。

傳感器結(jié)構(gòu)和傳感膜的表征

基于微縫和亞微結(jié)構(gòu)在傳感性能上的協(xié)同作用，所制造的傳感器表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，例如實(shí)現(xiàn)了400 kPa的超高應(yīng)力耐受性，理論最大應(yīng)力耐受性為2.477 MPa，以及在0-10 kPa壓力范圍內(nèi)的靈敏度為18.092 kPa?1。該傳感膜在外加壓力作用下能夠有效地適應(yīng)變形并實(shí)現(xiàn)應(yīng)力消除，從而擴(kuò)大檢測(cè)范圍。此外，薄膜位移向各個(gè)方向均勻擴(kuò)展，相鄰單元之間形成額外的接觸，從而提高了靈敏度。通過(guò)超過(guò)50,000次加載/卸載循環(huán)的實(shí)驗(yàn)，證明了本文所提出傳感器的優(yōu)異穩(wěn)定性。

本文所提出的具有MW-CNT/PDMS（0.2:1）傳感膜的傳感器性能

在實(shí)際應(yīng)用中，即使在超過(guò)400 kPa的壓力下，所提出的傳感器仍然可以保持穩(wěn)定的功能。結(jié)果表明，傳感膜中的微縫有利于在超高壓下保持結(jié)構(gòu)變形，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的耐壓能力。在傳感膜中構(gòu)造微縫是一種實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、靈敏、實(shí)時(shí)的環(huán)境大氣監(jiān)測(cè)、人體健康疾病診斷和負(fù)荷檢測(cè)的可行策略。

本文所提出傳感器的實(shí)際應(yīng)用

總而言之，研究人員成功制備了一種具有周期性微縫的MW-CNT/PDMS壓阻傳感膜?；谖⒖p和亞微結(jié)構(gòu)在傳感性能上的協(xié)同效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了超高的應(yīng)力耐受性（理論最大值為2.477 MPa），和18.092 kPa?1的靈敏度。在評(píng)估所提出的傳感器在檢測(cè)弱風(fēng)信號(hào)、支持健康監(jiān)測(cè)和檢測(cè)車(chē)輛負(fù)載方面的性能的測(cè)試中，實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了所提出的傳感器在實(shí)際應(yīng)用中的有效性。這項(xiàng)研究為具有超高應(yīng)力耐受性的柔性器件的設(shè)計(jì)和制造提供了有價(jià)值的見(jiàn)解，從而有助于實(shí)現(xiàn)未來(lái)無(wú)處不在的多樣化壓力監(jiān)測(cè)。

審核編輯：劉清