季豐電子目前擁有蔡司GeminiSEM500掃描電鏡SEM熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可為客戶呈現(xiàn)任意樣品表面更強的信號和更豐富的細節(jié)信息；尤其在低的加速電壓下，可在避免樣品損傷的同時，快速獲取更高清晰度的圖像。

同時，經(jīng)優(yōu)化和增強的Inlens探測器可高效地采集信號，幫助客戶快速獲取清晰的圖像，并使樣品損傷降至更低；在低電壓下?lián)碛懈叩男旁氡群透叩囊r度，二次電子圖像分辨率1kV達0.9nm，500V達1.0nm，無需樣品臺減速，即可進行分析。

設備規(guī)格指標

1、分辨率：15 kV時0.6nm；1 kV時 0.9nm (借助串聯(lián)減速功能選項)

2、加速電壓：0.02-30 kV 連續(xù)可調(diào)

3、放大倍數(shù)：×20-2,000K

4、探針電流：3pA-20nA

能譜與超級能譜

1、能譜儀(EDS) Oxford EDS System（UltimMax80）

2、EBSD Oxford EBSD System（Symmetry）

拍照效果

1、對于導電性差的有機物有很好的成像效果；

2、熱場SEM對碳化硅注入P/N結(jié)的成像要比冷場SEM更新清楚。

審核編輯：彭菁