果納半導體“晶圓盒搬運裝置及方法”專利公布
據(jù)天眼查公司透露，上海國納半導體技術有限公司的“晶圓盒搬運裝置及方法”專利于7月11日公布，申請編號為cn116417389a。
紀要顯示，本發(fā)明專利晶片箱搬運裝置及方法，公開，其中晶片箱子運輸裝置的驅動機制的作用下，沿著軌道移動的w行走機構組成，驅動機制行走機構位移檢查機制的第1部設有位移檢查。同步移動器具包括電動齒輪和齒輪，齒輪固定連接在鋼軌上，齒輪安裝在浮動機構上，浮動機構安裝在步行器具上，可以與步行器具同時移動。
浮動機構可以推動齒輪與齒輪相對不同，齒輪上設有第二位移檢測部，用以檢測其位移。同步移動機構包括檢查齒輪是否跳出來的檢查部，位移修正裝置，修正裝置根據(jù)修正部的修正結果測定修正第一位移檢測部或第二位移檢測部的位移。
據(jù)悉，該發(fā)明的晶圓盒搬運裝置及方法可以通過調整和修改移動銅的位移，保證移動銅位移的準確度。
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