材料科學(xué)的目標是研究材料表面結(jié)構(gòu)對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。共焦技術(shù)能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。

以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000激光共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。高度測量分辨率達到0.5nm。

應(yīng)用

1.MEMS
微米和亞微米級部件的尺寸測量，各種工藝（顯影，刻蝕，金屬化，CVD， PVD，CMP等）后表面形貌觀察，缺陷分析。
2.精密機械部件，電子器件
微米和亞微米級部件的尺寸測量，各種表面處理工藝，焊接工藝后的表面形 貌觀察，缺陷分析，顆粒分析。
3.半導(dǎo)體/ LCD
各種工藝（顯影，刻蝕，金屬化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌觀察， 缺陷分析 非接觸型的線寬，臺階深度等測量。
4.摩擦學(xué)，腐蝕等表面工程
磨痕的體積測量，粗糙度測量，表面形貌，腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

技術(shù)指標

型號：VT6100
行程范圍：100*100*100mm
視場范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測量重復(fù)性(1σ)：12nm
高度測量精度：± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率：0.5nm

寬度測量重復(fù)性(1σ)：40nm
寬度測量精度：± 2%
寬度測量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm
儀器重量：50kg