共聚焦顯微鏡是一種光學(xué)成像技術(shù)，可通過使用空間針孔來阻擋散焦光來提高顯微圖像的光學(xué)分辨率和對比度。在圖像形成中。捕獲樣品中不同深度的多個二維圖像可重建三維結(jié)構(gòu)（此過程稱為光學(xué)切片）。該技術(shù)廣泛用于科學(xué)和工業(yè)界，典型的應(yīng)用是生命科學(xué)、半導(dǎo)體檢查和材料科學(xué)。

共聚焦顯微鏡一般為熒光顯微鏡和共焦顯微鏡。

熒光顯微鏡主要應(yīng)用在生物領(lǐng)域及醫(yī)學(xué)研究中，能得到細胞或組織內(nèi)部微細結(jié)構(gòu)的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態(tài)的變化，是形態(tài)學(xué)，分子生物學(xué)，神經(jīng)科學(xué)，藥理學(xué)，遺傳學(xué)等領(lǐng)域中新一代強有力的研究工具。而以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

材料科學(xué)的目標是研究材料表面結(jié)構(gòu)對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。共焦技術(shù)能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。

VT6000共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。