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案例分享第二期:晶圓切割

西斯特精密加工 ? 2022-03-15 09:37 ? 次閱讀
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晶圓的應(yīng)用領(lǐng)域

封裝之后的晶圓叫做集成電路。目前,集成電路在信息、通訊、消費(fèi)電子、汽車(chē)電子智能駕駛、航天航空、醫(yī)療電子及其他消費(fèi)類(lèi)領(lǐng)域占比不斷擴(kuò)大并保持增長(zhǎng),所有涉及到電路的電子產(chǎn)品都會(huì)使用到集成電路。

晶圓的材料特性

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.999999999%。晶圓制造廠(chǎng)再把此多晶硅融解,再于融液里種入籽晶,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過(guò)程稱(chēng)為“長(zhǎng)晶”。硅晶棒再經(jīng)過(guò)切段,滾磨,切片,倒角,拋光,蝕刻設(shè)計(jì),使其帶有獨(dú)立電氣性能,即成為集成電路工廠(chǎng)的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”。

切割時(shí)的注意事項(xiàng)

晶圓切割需要在晶圓切割機(jī)主軸上安裝一個(gè)帶有輪轂的金剛石刀片,沿著晶圓表面設(shè)計(jì)好的街區(qū)橫向和縱向切割,分離成單獨(dú)的小顆粒。

在晶圓切割過(guò)程中要特別注意以下幾點(diǎn),以避免產(chǎn)生品質(zhì)隱患。

接觸晶圓首先要做好靜電防護(hù)(10E6Ω至10E9Ω),避免損傷晶圓;

使用電阻阻值為13-18MΩ的去離子冷卻水或在純水中添加Diamaflow切削液,能有效避免產(chǎn)品氧化及硅粉殘留;

使用純水二氧化碳發(fā)泡機(jī)(0.6M±0.1)避免臟污和靜電損傷;

選擇適合的切割刀片及適合的工藝參數(shù),保證切割效果;

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西斯特科技

深圳西斯特科技有限公司 (簡(jiǎn)稱(chēng)SST西斯特) ,以“讓一切磨削加工變得容易”為主旨,倡導(dǎo)磨削加工系統(tǒng)方法論,2015年創(chuàng)立于中國(guó)深圳,植根于技術(shù)創(chuàng)新的精神,屹立于追求夢(mèng)想、創(chuàng)造價(jià)值的企業(yè)文化。

基于對(duì)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)的深度解讀、創(chuàng)新性的磨具設(shè)計(jì)和磨削系統(tǒng)方法 論的實(shí)際應(yīng)用,西斯特的磨削理念可服務(wù)于航空航天、醫(yī)療器械、集成電路、磁性材料、汽車(chē)與船舶制造、藍(lán)寶石與功能陶瓷等領(lǐng)域的磨削加工,并為半導(dǎo)體制造、消費(fèi)電子制造、汽車(chē)制造等行業(yè)提供高端磨具產(chǎn)品。

西斯特科技始終以先進(jìn)的技術(shù)、高性能的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)服務(wù)的理念,帶領(lǐng)產(chǎn)業(yè)革命,創(chuàng)造無(wú)限可能。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫(xiě)或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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