白光干涉儀SuperView W1系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專(zhuān)為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。

2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-10mm。

3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。

5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。

6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。

7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

8、測(cè)量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶(hù)界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。

應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)

2、半導(dǎo)體

3、MEMS

4、高?？蒲?/p>

5、精密加工