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三維光學輪廓儀測粗糙度

中圖儀器 ? 2022-04-08 16:23 ? 次閱讀
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SuperViewW1系列三維光學輪廓儀測粗糙度采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件,采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收,其中臺階高標準片高度在4.7um左右,測量精度要求為<0.75%,重復精度要求<0.1%(1σ)(測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差)。其掃描模塊和內(nèi)部抗振設計,可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性,詮釋始終如一的測量品質(zhì)。

SuperViewW1系列光學輪廓儀測表面粗糙度示例圖1

曲率半徑和表面粗糙度檢測

SuperViewW1系列光學輪廓儀測表面粗糙度示例圖2

藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度

SuperViewW1系列光學輪廓儀測表面粗糙度示例圖3

薄膜粗糙度測量

SuperViewW1系列光學輪廓儀測表面粗糙度示例圖4

硅片表面粗糙度測量

SuperViewW1系列三維光學輪廓儀測粗糙度提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心省力。

SuperViewW1系列光學輪廓儀測表面粗糙度示例圖5

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1-Pro

產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取

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