摘要：傳統(tǒng)硅基MOSFET技術(shù)日趨成熟，正在接近性能的理論極限。寬帶隙半導(dǎo)體的電、熱和機(jī)械特性更好，能夠提高M(jìn)OSFET的性能，是一項(xiàng)關(guān)注度很高的替代技術(shù)。

商用硅基功率MOSFET已有近40年的歷史，自問世以來，MOSFET和IGBT一直是開關(guān)電源的主要功率處理控制組件，被廣泛用于電源、電機(jī)驅(qū)動等電路設(shè)計(jì)。

不過，這一成功也讓MOSFET和IGBT體會到因成功反而受其害的含義。隨著產(chǎn)品整體性能的改善，特別是導(dǎo)通電阻和開關(guān)損耗的大幅降低，這些半導(dǎo)體開關(guān)的應(yīng)用范圍越來越廣。結(jié)果，市場對這些硅基MOSFET和IGBT的期望越來越高，對性能的要求越來越高。

盡管主要的半導(dǎo)體研發(fā)機(jī)構(gòu)和廠商下大力氣滿足市場要求，進(jìn)一步改進(jìn)MOSFET／ IGBT產(chǎn)品，但在某些時候，收益遞減法則占主導(dǎo)。幾年來，盡管付出投入很大，但成效收獲甚微。技術(shù)和產(chǎn)品最終發(fā)展到一個付出與收獲不成正比的階段，并不罕見，這是在為新的顛覆性方法和新產(chǎn)品問世奠定基礎(chǔ)。

對于MOSFET器件，這個顛覆性技術(shù)創(chuàng)新周期是開發(fā)和掌握新基礎(chǔ)材料的結(jié)果。與基于純硅的MOSFET比較，基于碳化硅（SiC）的MOSFET的性能更勝一籌。 請注意，本文對比測試所用產(chǎn)品不是研發(fā)樣品或演示原型，而是已經(jīng)商用的基于SiC的MOSFET。

作為一個重要的快速發(fā)展的應(yīng)用領(lǐng)域，電動汽車和混動汽車（EV／HEV）的發(fā)展受益于MOSFET技術(shù)進(jìn)步，反過來又推到了MOSFET的研發(fā)制造活動。不管消費(fèi)者是如何想的，這些滿載電池的汽車不只是一個大型電池組連接數(shù)個牽引電機(jī)那樣簡單（混動汽車還有一個小型汽油發(fā)動機(jī)給電池充電），而是需要大量電子模塊來驅(qū)動系統(tǒng)運(yùn)行，管理設(shè)備，執(zhí)行特殊功能，如圖1所示。

圖1：電動汽車和混合動汽車不只是一臺大容量電池連接數(shù)臺牽引電機(jī)，還有許多較小的電子子系統(tǒng)及電源，以及給大型電池組充放電和管理電池組的高功率子系統(tǒng)。

電動汽車和混合動汽車所用的功率開關(guān)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)包括：

· 輪轂電機(jī)牽引逆變器（200 kW／最高20 kHz）；

· 交流輸入車載充電器（20 kW／50 kHz－200 kHz）；

· 選配快速充電功能（50 kW／50 kHz－200 kHz）

· 輔助功能電源：中控臺、電池管理控制、空調(diào)、信息娛樂系統(tǒng)、GPS、網(wǎng)絡(luò)連接（4 kW／ 50 kHz－200 kHz量級）

為什么要注重能效？ 續(xù)航里程顯然是消費(fèi)者選購電動汽車和混合動汽車的重要考慮因素之一。逆變器的性能提高幅度即便很小，也能導(dǎo)致消費(fèi)者能夠看到的汽車基本性能指標(biāo)明顯提高。

但是，要求高能效的不止于這一個因素，還有多種其它因素：

· 降低工作溫度，提高可靠性；

· 降低熱負(fù)荷，減少通過散熱器、散熱片、冷卻液和其它技術(shù)散發(fā)的熱量；

· 減少充電時間和基本用電量；

· 由于工作溫度較高的系統(tǒng)固有的要求和限制，整體封裝需要具有更大的靈活性；

· 更加輕松地符合法規(guī)要求。

SiC應(yīng)對挑戰(zhàn)

幸運(yùn)的是，SiC提供了一條通向更高能效以及提高相關(guān)性能的途徑。在結(jié)構(gòu)和性能上，SiC MOSFET與主流的純硅MOSFET有何不同？簡而言之，SiC MOSFET是在SiC n ＋襯底上加一個 SiC n摻雜外延層（又稱漂移層），如圖2所示。關(guān)鍵參數(shù)導(dǎo)通電阻RDS（ON）在很大程度上取決于源極／基極和漂移層之間的溝道電阻RDrift。

圖2：不同于純硅MOSFET，SiC MOSFET在n ＋型 SiC襯底上面制作一個碳化硅外延（漂移）層，源極和柵極置于SiC漂移層頂部。

當(dāng)RDrift值給定，結(jié)溫是25？C時，SiC晶體管裸片實(shí)際面積是硅超結(jié)晶體管裸片面積的幾分之一，如果使兩個管子的芯片面積相同，那么SiC晶體管的性能要高出很多。另一個比較SiC和硅的方法是用大家熟悉的品質(zhì)因數(shù)（FOM），即RDS（ON） ×芯片面積（品質(zhì)因數(shù)越低越好）。在1200V阻斷電壓下，意法半導(dǎo)體的SiC MOSFET的FOM值很小，約為市面上最好的高壓硅MOSFET（900V超結(jié)管）的十分之一。

與牽引逆變器常用的硅基IGBT相比，SiC MOSFET主要有以下優(yōu)點(diǎn)：

· 開關(guān)損耗更低，在中小功率時，導(dǎo)通損耗更低；

· 沒有IGBT那樣的PN結(jié)電壓降；

· SiC器件具有堅(jiān)固、快速的本征二極管，無需外部二極管；該本征二極管的恢復(fù)電荷極小，幾乎可以忽略不計(jì)；

· 工作溫度更高（200？C），從而降低了冷卻要求和散熱要求，同時提高了可靠性；

· 在能效相同的條件下，開關(guān)頻率是IGBT的4倍，由于無源器件和外部元件少，重量、尺寸和成本更低。

驅(qū)動器

經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師知道，功率器件只是整個系統(tǒng)的眾多重要組件之一。要想使設(shè)計(jì)變得可靠、高效，有成本效益，還需要給MOSFET選擇適合的驅(qū)動器。適合的驅(qū)動器是根據(jù)目標(biāo)MOSFET及其負(fù)載特有的電流變化率、電壓值和時序限制而專門設(shè)計(jì)的驅(qū)動器。由于硅基MOSFET技術(shù)已經(jīng)成熟，市面上有很多品牌的標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動器，保證驅(qū)動器／ MOSFET組合正常工作。

因此，人們關(guān)心SiC MOSFET驅(qū)動的難易程度，更關(guān)心驅(qū)動器在市場上是否有售，這是很正常的事情。令人興奮的是，驅(qū)動SiC MOSFET幾乎與驅(qū)動硅基MOSFET一樣容易，驅(qū)動一個80mΩ器件，只需要20V柵－源電壓、最大約2A的驅(qū)動電流。因此，在許多情況下都可以使用簡單標(biāo)準(zhǔn)的柵極驅(qū)動器。意法半導(dǎo)體和其它廠商開發(fā)出了針對SiC MOSFET優(yōu)化的柵極驅(qū)動器，例如ST TD350。

在這款先進(jìn)的柵極驅(qū)動器內(nèi)，創(chuàng)新的有源米勒鉗位功能大多數(shù)應(yīng)用中節(jié)省了負(fù)電壓柵極驅(qū)動，并允許使用簡單的自舉電源驅(qū)動高邊驅(qū)動器；電平和延遲可調(diào)節(jié)的兩級關(guān)斷功能可以預(yù)防關(guān)斷操作產(chǎn)生大量的過電壓，以防萬一發(fā)生過流或短路情況，兩級關(guān)斷功能中設(shè)置的延遲還可用于控制開關(guān)的開通操作，防止脈沖寬度失真。（為進(jìn)一步簡化SiC MOSFET的使用，意法半導(dǎo)體發(fā)布了題目為 “如何微調(diào)SiC MOSFET柵極驅(qū)動器，最大限度降低損耗”的應(yīng)用筆記，全面詳細(xì)介紹了驅(qū)動器的要求和最佳性能解決方案。）

不只是推斷，還是事實(shí)

制造工藝的進(jìn)步有時并不能保證新技術(shù)一定會產(chǎn)業(yè)化和大規(guī)模應(yīng)用，而SiC MOSFET卻是一個例外。目前，SiC MOSFET已經(jīng)大批量生產(chǎn)，并被混動汽車和電動汽車采用，在能效、性能和工作條件方面取得切實(shí)的成效，并傳導(dǎo)到電路級和系統(tǒng)級。

我們用混動汽車和電動汽車的80kW牽引電機(jī)逆變器電源模塊做了一個SIC MOSFET與硅IGBT的對比測試，結(jié)果顯示，在許多關(guān)鍵參數(shù)方面，650V SIC MOSFET遠(yuǎn)勝硅IGBT。這個三相逆變器模塊采用雙極性PWM控制拓?fù)?，具?a target="_blank">同步整流模式。兩種器件都是按照結(jié)溫小于絕對最大額定結(jié)溫80％確定器件尺寸。硅 IGBT方案使用4個并聯(lián)的650V／200A IGBT和額定值相同的相關(guān)續(xù)流硅二極管；基于SIC MOSFET的方案設(shè)計(jì)采用7個并聯(lián)的650V／100A SiC MOSFET，未使用任何外部二極管（只用本征二極管）；額定峰值功率480Arms（10秒），正常負(fù)載230Arms。其它工作條件是：

· 直流電路電壓：400Vdc

· 開關(guān)頻率：16kHz

· SiC Vgs電壓 ＋20V／－5V，IGBT Vge電壓 ±15V

· 冷卻液溫度：85℃

· RthJ－C（IGBT－die）＝0．4℃／W； RthJ－C（SiC－die）＝1．25℃／W

· 在任何條件下，Tj ≤ 80％ ×Tjmax℃

下表列出了在額定峰值功率下的典型功率損耗：

注意到，SiC MOSFET與硅基IGBT對比，幾乎所有功率損耗參數(shù)都有明顯改善。當(dāng)并聯(lián)MOSFET時，所產(chǎn)生的RDS（ON） 導(dǎo)通電阻除以MOSFET的個數(shù)，致使導(dǎo)通損耗接近零，因此，SiC MOSFET的導(dǎo)通損耗低于IGBT。相反，當(dāng)并聯(lián)IGBT時，所產(chǎn)生的VCE（SAT） 電壓不會線性下降，并且最小導(dǎo)通電壓降是限制在大約0．8至1 V范圍內(nèi)。

不難看出，在整個負(fù)載范圍內(nèi)，基于SiC的MOSFET解決方案的功率損耗低很多。由于導(dǎo)通電壓降較低，這些MOSFET在100％負(fù)載時的導(dǎo)通損耗也從125 W降低到55 W，如圖3a和3b所示。

圖3：a）在整個負(fù)載范圍內(nèi)，基于SiC的設(shè)計(jì)（紅線）的功耗比硅基IGBT（藍(lán)線）低很多（左圖）。 b）SiC系統(tǒng)（紅線）的能效明顯高于純硅方案（藍(lán)線），在較低的負(fù)載比時尤為顯著。

在低負(fù)載時，SiC器件的能效比硅IGBT高達(dá)3％；在整個負(fù)載范圍內(nèi)，總能效高至少 1％。盡管1％看起來似乎不高，但對于這個功率等級，1％代表了很高的功耗、耗散功率和散熱量。工程師知道，高溫是持久性能和可靠性的大敵。此外，高能效還能延長電動汽車?yán)m(xù)航里程，這是汽車制造商和消費(fèi)者比較看重的價值主張。在16 kHz開關(guān)頻率下，比較SiC與IGBT的結(jié)溫，從低負(fù)載到滿負(fù)載，顯然SiC是贏家，兩者的冷卻液溫度均為85？C，如圖4所示。數(shù)據(jù)表明，因?yàn)閾p耗高，IGBT冷卻系統(tǒng)的效率必須更高。

圖4：結(jié)溫決定開關(guān)頻率高低、可靠性以及其它性能；在可靠性方面，SiC解決方案（紅線）優(yōu)于硅解決方案（藍(lán)線），直到100％負(fù)載仍然保持較低的Δ（Tj－Tfluid）溫差。

SiC器件結(jié)溫幾乎在整個開關(guān)頻率范圍內(nèi)都處于較低的水平，如圖5所示，甚至開關(guān)頻率低至8 kHz時，溫度也比IGBT低，硅基IGBT在46 kHz時已超出額定結(jié)溫范圍。

圖5：在整個開關(guān)頻率范圍內(nèi)，結(jié)溫低也是SiC器件的主要優(yōu)勢；這兩個方案在8 kHz時結(jié)溫大致相同，但之后SiC（紅線）逐漸優(yōu)于Si（藍(lán)線），后者隨著開關(guān)頻率的提高而大幅增加。

在峰值功率脈沖條件下，SiC MOSFET導(dǎo)通損耗高于IGBT，為使結(jié)溫保持在最高結(jié)溫以下（通常為200？C的Tjmax的80％），我們限定SiC MOSFET的尺寸，這時 SiC MOSFET具有以下優(yōu)勢：

· 芯片面積小，適合更緊湊的方案；

· 中低負(fù)載功率損耗低很多；

· 電池續(xù)航時間更長，延長汽車?yán)m(xù)航里程；

· 滿載時損耗更低，適用于更小的冷卻方案；

· 在整個負(fù)載范圍內(nèi)，結(jié)溫Tj和冷卻液溫度Tfluid的溫差小，可提高可靠性。

這些特性和優(yōu)點(diǎn)為用戶帶來了切實(shí)的好處，例如，能效提高至少1％（損耗降低75％）；逆變器側(cè)冷卻系統(tǒng)更小、更輕（減少約80％）；電源模塊更小、更輕（減少50％）。

成本考量

當(dāng)討論技術(shù)進(jìn)步及其帶來的好處時，不考慮成本因素的討論都是片面的。目前，SiC MOSFET的成本是硅IGBT的4－5倍，不過，SiC MOSFET在物料清單、冷卻系統(tǒng)和能耗方面的節(jié)省，降低了系統(tǒng)總成本，通?？梢缘窒暨@些基礎(chǔ)組件的成本差距。在未來2－5年，隨著行業(yè)轉(zhuǎn)向大直徑晶圓，意法半導(dǎo)體已經(jīng)開始轉(zhuǎn)型，這一價差應(yīng)該會降至3倍甚至2．5倍，品質(zhì)因數(shù)RDSON × 面積也將得到改善，產(chǎn)量將會提高。從長遠(yuǎn)看，未來5－10年，隨著這些參數(shù)改進(jìn)，成本將會繼續(xù)降低。

SiC功率開關(guān)帶來了改進(jìn)性能的希望，同時也將這些希望變成了現(xiàn)實(shí)，在應(yīng)用和安裝中幾乎不存在設(shè)計(jì)折衷問題。隨著汽車廠商加緊研發(fā)混動汽車、電動汽車和許多相關(guān)電源模塊，以及其它以大功率電機(jī)為中心的應(yīng)用，SiC功率開關(guān)可以在成功設(shè)計(jì)中發(fā)揮重要作用，即使改進(jìn)步伐很小，也會為系統(tǒng)級帶來巨大的進(jìn)步。