預(yù)防性維護(hù)

稱之為“濕法”實(shí)為“干法”，這聽(tīng)起來(lái)像謎語(yǔ)，但對(duì)于等離子體工藝設(shè)備來(lái)說(shuō)，答案就是“濕法清洗”，一種重要的預(yù)防性維護(hù)方式。

“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護(hù)方式，即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對(duì)于需要高精度維護(hù)的設(shè)備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤(rùn)過(guò)的無(wú)絨布，不過(guò)“濕法清洗”這個(gè)傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以，維護(hù)方式被稱為“濕法”，但實(shí)際上卻是“干法”。

預(yù)防性維護(hù)的目標(biāo)是保持設(shè)備的正常運(yùn)行和盡量減少任何計(jì)劃外的停機(jī)，因?yàn)檫@種停機(jī)一般會(huì)嚴(yán)重?cái)_亂生產(chǎn)、會(huì)導(dǎo)致較高的成本以及生產(chǎn)損失。如同一輛汽車，定期更換發(fā)動(dòng)機(jī)油是最大限度延長(zhǎng)汽車使用壽命和提升性能的關(guān)鍵。在刻蝕數(shù)千片晶圓的過(guò)程中，被去除材料的聚合物會(huì)在等離子體腔室的表面聚集。

我們需要處理這樣的聚集物，一是因?yàn)樗鼈兛赡艹蔀槲廴驹?；二是它們有可能改變腔室?nèi)的感應(yīng)或電導(dǎo)，由此影響等離子體的工藝。聚集物的處理主要依賴成熟的等離子清潔循環(huán)過(guò)程，但某些時(shí)候也需要定期對(duì)腔室進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)。

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這種預(yù)防性維護(hù)的步驟數(shù)量和精度要求已有大幅提升。在2000年，整個(gè)維護(hù)過(guò)程只包含約35個(gè)步驟，如今的步驟數(shù)量已經(jīng)超過(guò)150個(gè)，且對(duì)精度的要求也高很多。如此繁雜的維護(hù)過(guò)程和高精度需求致使維護(hù)失敗率通?？筛哌_(dá)30%，這不僅意味著生產(chǎn)損失，還會(huì)造成備件和測(cè)試晶圓的損耗，以及由此帶來(lái)的成本大幅提升。

濕法清洗優(yōu)化

為解決上述問(wèn)題，泛林推出了名為“濕法清洗優(yōu)化”（WCO）的服務(wù)，用于消除人為差異和提高預(yù)防性維護(hù)的成功率。如今WCO已經(jīng)在全球被應(yīng)用于大量的刻蝕和沉積腔室，幫助多個(gè)客戶解決問(wèn)題，例如提升產(chǎn)量以及大幅減少支出浪費(fèi)等。

作為整體解決方案，WCO涵蓋了專業(yè)設(shè)備、本地化多媒體分步說(shuō)明、數(shù)據(jù)分析和專家支持（診斷維護(hù)問(wèn)題和推動(dòng)持續(xù)改進(jìn)）。

專業(yè)設(shè)備

使用合適的設(shè)備可大幅提升生產(chǎn)力和效率并保護(hù)人員安全。WCO服務(wù)包可確保客戶能隨時(shí)隨地獲得所需要的標(biāo)準(zhǔn)和定制設(shè)備。

多媒體分步操作說(shuō)明

預(yù)防性維護(hù)團(tuán)隊(duì)往往面臨的一大挑戰(zhàn)就是維護(hù)人員的更換（18個(gè)月的流動(dòng)率可高達(dá) 100%），在這種情況下，分步驟程序說(shuō)明和方便參照的操作文件就顯得非常重要。

數(shù)據(jù)分析

這是WCO的一個(gè)關(guān)鍵組成部分，作用是將濕法清洗數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可以使用的信息。推動(dòng)持續(xù)改進(jìn)的一大關(guān)鍵就在于通過(guò)高質(zhì)量分析確定最需要改進(jìn)的領(lǐng)域，并且測(cè)量和量化這些改進(jìn)方法。

專家支持

由專業(yè)工程師推動(dòng)問(wèn)責(zé)、調(diào)查問(wèn)題并推動(dòng)系統(tǒng)性改進(jìn)。

應(yīng)用場(chǎng)景

我們將通過(guò)以下應(yīng)用場(chǎng)景的介紹幫助大家更好地了解WCO的作用。

芯片制造商 A 在使用濕法清洗其等離子刻蝕設(shè)備時(shí)遇到性能表現(xiàn)無(wú)法預(yù)測(cè)的問(wèn)題，且已經(jīng)影響到設(shè)備的可用性。晶圓廠經(jīng)理明白問(wèn)題的原因是員工流動(dòng)率高，但他無(wú)法通過(guò)內(nèi)部培訓(xùn)或其他行動(dòng)來(lái)改善當(dāng)前的情況。在引入泛林的WCO之后，本地化分步操作視頻可以幫助新員工快速了解情況，很快就實(shí)現(xiàn)了濕法清洗穩(wěn)定的高性能表現(xiàn)。濕法清洗的耗時(shí)和設(shè)備的計(jì)劃外停機(jī)有所減少，設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間和良率也因此得到改善。

芯片制造商 B 正在使用一個(gè)新類型的腔室進(jìn)行良率爬坡并希望盡快實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率。通過(guò)引入WCO提供的最佳方式，B的工作人員很快就掌握了操作要領(lǐng)，維護(hù)時(shí)間的差異降低，新的腔室快速實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定的正常運(yùn)行。

總結(jié)

WCO是一項(xiàng)能幫助客戶自行成功完成預(yù)防性維護(hù)的方法。該整體方案融合了泛林的專有軟件、數(shù)據(jù)分析和經(jīng)過(guò)認(rèn)證的清潔程序（含視頻指導(dǎo)）。另外，WCO也是泛林集團(tuán)Equipment Intelligence?的一部分， 后者是泛林基于其設(shè)備經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)打造的綜合性生產(chǎn)力解決方案。