微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)專(zhuān)題
微機(jī)電系統(tǒng)，英文名稱(chēng)是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫(xiě))，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術(shù)知識(shí)。
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