電源及系統(tǒng)啟動(dòng)方式

　　1、打開(kāi)設(shè)備卷簾蓋。

　　2、打開(kāi)接線板開(kāi)關(guān)，打開(kāi)藍(lán)色穩(wěn)壓開(kāi)關(guān)。注意：必須待穩(wěn)壓電源指示燈由紅色變?yōu)榫G色？電壓穩(wěn)定后才可進(jìn)行后續(xù)操作，如電壓不穩(wěn)定就開(kāi)始操作，很可能損壞設(shè)備。

　　3、按下圓形綠色ON開(kāi)關(guān)，打開(kāi)系統(tǒng)總電源。

　　4、打開(kāi)機(jī)臺(tái)右下方的黑色有機(jī)玻璃蓋子，按下白色圓形按鈕啟動(dòng)電腦主機(jī)。

　　5、按下橙色開(kāi)關(guān)power。

　　6、打開(kāi)顯示器開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)PG-2000軟件和PClink軟件。

　　7、打開(kāi)顯微鏡左側(cè)紅色開(kāi)關(guān)。

　　樣品檢測(cè)操作

　　1.按下綠色按鈕start，載物盤移出，按下VAC抽真空鍵，真空泵工作。放入芯片，輕觸芯片看是否吸附牢固，確定樣品放置平整，如不平整則會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果并損壞探針。

　　2.芯片放置完畢后再次按下綠色Start鍵，載物盤歸位。

　　3.選取標(biāo)準(zhǔn)芯片，進(jìn)行影像學(xué)習(xí)，設(shè)定60%的相似度，可以根據(jù)需要自行設(shè)定然后點(diǎn)擊搜索。

　　4.取任意最近一點(diǎn)，點(diǎn)擊產(chǎn)品設(shè)定，選擇自動(dòng)更新，系統(tǒng)自動(dòng)顯示出行數(shù)、列數(shù)以及晶粒間距，點(diǎn)擊產(chǎn)品設(shè)定、存儲(chǔ)、名稱、點(diǎn)擊設(shè)定名稱，自行輸入名稱后點(diǎn)擊離開(kāi)。

　　5.點(diǎn)擊晶圓水平，進(jìn)行影像的水平調(diào)節(jié)。

　　6.點(diǎn)擊影像掃描，系統(tǒng)自動(dòng)掃描選取樣品。

　　7.進(jìn)行接觸檢測(cè)，按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮？亮則說(shuō)明接觸良好，否則為接觸不良。若接觸不良則需要按下A/Light鍵，打開(kāi)環(huán)形照明燈，從顯微鏡的目鏡中觀察樣品以及針頭位置，調(diào)節(jié)探針臺(tái)的XYZ軸旋鈕，使針頭能正確接觸芯片的電極，直到ES1和ES2指示燈點(diǎn)亮。再次按下UP/DW鍵，完成接觸檢測(cè)。

　　8.打開(kāi)PClink測(cè)試連線軟件，用戶名和密碼都是1。進(jìn)行參數(shù)設(shè)定，并對(duì)檔案進(jìn)行命名，點(diǎn)擊開(kāi)始寫(xiě)檔。

　　9.回到PG2000系統(tǒng)，點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)試。按下綠色Start鍵，設(shè)備開(kāi)始進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)完成后，按下紅色Abort鍵結(jié)束檢測(cè)。如果在檢測(cè)過(guò)程中需要暫停，則按下黃色Pause鍵，暫停結(jié)束后若仍需繼續(xù)檢測(cè)，則按下綠色Start鍵，系統(tǒng)繼續(xù)對(duì)樣品進(jìn)行檢測(cè)。若暫停后要結(jié)束檢測(cè)，則按下紅色Abort鍵？系統(tǒng)自動(dòng)終止檢測(cè)。

　　10.正常檢測(cè)完畢，按下紅色Abort鍵，結(jié)束檢測(cè)。

　　檢測(cè)完成系統(tǒng)關(guān)閉過(guò)程

　　1、所有檢測(cè)完成后，若需關(guān)閉系統(tǒng)，則首先要關(guān)閉PG2000軟件和PClink軟件，再正常關(guān)閉計(jì)算機(jī)。

　　2、接著關(guān)閉顯微鏡左側(cè)紅色開(kāi)關(guān)。

　　3、然后關(guān)閉橙色POWER開(kāi)關(guān)。

　　4、確定系統(tǒng)中所有開(kāi)關(guān)均已關(guān)閉后，最后按下紅色OFF鍵關(guān)閉系統(tǒng)總電源。

　　5、關(guān)閉系統(tǒng)過(guò)程中，必須按照以上步驟操作，否則極易造成設(shè)備損壞。

　　6、待系統(tǒng)關(guān)閉后，關(guān)閉穩(wěn)壓電源藍(lán)色開(kāi)關(guān)，關(guān)閉接線板開(kāi)關(guān)。拉下卷簾蓋？檢查無(wú)誤后，方可離開(kāi)。故障備注：設(shè)備尚存在一些故障問(wèn)題，顯微鏡右眼的目鏡是壞的？無(wú)法，到樣品，僅能從左眼目鏡進(jìn)行觀察。

　　7.進(jìn)行接觸檢測(cè)時(shí)，正常情況下按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮。點(diǎn)亮則說(shuō)明接觸良好？否則為接觸不良，而即使接觸良好？ES1和ES2燈也不亮。對(duì)針的時(shí)候無(wú)法直觀判斷接觸情況，操作難度很大，需要檢修。馬老師說(shuō)過(guò)段時(shí)間會(huì)有工程師來(lái)維修和詳細(xì)培訓(xùn)，維修培訓(xùn)過(guò)后我會(huì)對(duì)操作手冊(cè)進(jìn)行進(jìn)一步的完善和修改。