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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS閾值可調(diào)開關(guān)的仿真與實(shí)驗(yàn)分析_許馬會(huì)立即下載
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2012-11-27 標(biāo)簽:MEMS實(shí)時(shí)時(shí)鐘 660 0
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