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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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編者注:TSV是通過(guò)在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通;TSV技術(shù)通過(guò)銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的填充,實(shí)現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項(xiàng)技術(shù)是目前...
北京大學(xué)在壓電MEMS領(lǐng)域取得重要進(jìn)展:讓一塊壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)功能!
近日,北京大學(xué)董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領(lǐng)域獨(dú)辟蹊徑:發(fā)明了一種壓電馬達(dá),只需一個(gè)壓電陶瓷,就可產(chǎn)生兩個(gè)對(duì)稱驅(qū)動(dòng)和實(shí)現(xiàn)兩個(gè)對(duì)稱運(yùn)動(dòng)輸出功能。而傳統(tǒng)上...
動(dòng)作捕捉系統(tǒng)的一般性結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)部分:數(shù)據(jù)采集設(shè)備、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、數(shù)據(jù)處理單元,慣性式動(dòng)作捕捉系統(tǒng)即是將慣性傳感器應(yīng)用到數(shù)據(jù)采集端,數(shù)據(jù)處理單元通過(guò)...
超級(jí)全面!一文看懂***:MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備
文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié),大陸自給率亟待提升 ·光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備,市場(chǎng)規(guī)模全球第二 ·一超兩強(qiáng)壟斷市場(chǎng),大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機(jī):...
MEMS 加速度計(jì)中的主要阻尼機(jī)制之一是運(yùn)動(dòng)質(zhì)量與周圍空氣分子之間發(fā)生的內(nèi)部摩擦。事實(shí)上,可以在極低的壓力下封裝基于 MEMS 的加速度計(jì),以減少空氣阻...
從輔助駕駛到自動(dòng)駕駛: 感知型車輛建立在底層高質(zhì)量的傳感器數(shù)據(jù)基礎(chǔ)之上
這些傳感器技術(shù)包括攝像頭、激光探測(cè)與測(cè)距(LiDAR)、無(wú)線電探測(cè)與測(cè)距(radar)、微機(jī)電傳感器(MEMS)、慣性測(cè)量單元(IMU)、超聲波和GPS...
傳感器和數(shù)字技術(shù)的進(jìn)步如何幫助改善患者護(hù)理
這讓我們能夠在醫(yī)院以外實(shí)施醫(yī)療監(jiān)測(cè)和檢驗(yàn),可以在本地醫(yī)療機(jī)構(gòu)(例如GP practices)或患者家中執(zhí)行。為了給患者帶來(lái)更大的便利,可穿戴設(shè)備(例如貼...
利用軟件驅(qū)動(dòng)、安全的預(yù)測(cè)性電機(jī)維護(hù)提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間,降低運(yùn)營(yíng)成本,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 903 0
液位測(cè)量系統(tǒng)使用補(bǔ)償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計(jì)是液位測(cè)量和控制系列中的首個(gè)。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強(qiáng)調(diào)了微機(jī)電(MEMS)溫度補(bǔ)償硅壓力傳感器的最新進(jìn)展的好處。這...
由于MEMS傳感器測(cè)量的外部信號(hào)不同,不同類型的MEMS傳感器技術(shù)差異較大。MEMS慣性傳感器主要檢測(cè)物體的運(yùn)動(dòng),需要將傳感器安裝在載體上用于檢測(cè)載體的...
運(yùn)動(dòng)五感:利用MEMS慣性感測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革
盡管MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應(yīng)用已有大約20年,但促使大眾認(rèn)識(shí)到慣性傳感器作用的是Nintendo? Wii?和Apple?...
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
替代MEMS?未來(lái)20年,最具顛覆性的4大傳感器技術(shù),中國(guó)已提前布局!
在過(guò)去的20年,傳感器廠商不斷研究創(chuàng)新的測(cè)量原理和敏感材料,這些成果能讓我們用到高集成、低成本的傳感器,其中,最成功也是最具顛覆性的,無(wú)疑是MEMS技術(shù)...
物聯(lián)網(wǎng)芯片/微機(jī)電系統(tǒng)芯片測(cè)試方法
物聯(lián)網(wǎng) (IoT) 芯片主要包括傳感器芯片、嵌人式處理芯片、無(wú)線傳輸鏈接芯片等。IoT 芯片的性能/功能測(cè)試評(píng)價(jià)至關(guān)重要,已成為物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展不可或缺的一環(huán)...
2023-06-08 標(biāo)簽:芯片mems物聯(lián)網(wǎng) 1623 0
功率放大器在EMC電磁兼容測(cè)試中的具體應(yīng)用
作為電子及電器產(chǎn)品質(zhì)量衡量指標(biāo)之一的電磁兼容性(EMC)測(cè)試,它的測(cè)試正確與否直接關(guān)系到產(chǎn)品自身使用的可靠性及安全性,并且它還有可能對(duì)于同系統(tǒng)中的其他部...
根據(jù)被測(cè)量的介質(zhì)和組件的設(shè)計(jì),這種類型的傳感器可能會(huì)成為由介質(zhì)本身引起的故障的受害者。 一個(gè)常見的問(wèn)題是浮子吸收了它浸沒(méi)在其中的介質(zhì),這將導(dǎo)致人為的低液...
每個(gè) MEMS 壓力傳感器的核心都是 MEMS 硅芯片。 Merit Sensor 擁有并經(jīng)營(yíng)一家晶圓廠,在那里生產(chǎn)所有自己的產(chǎn)品 微機(jī)電芯片. 封裝 ...
關(guān)于 MEMS 芯片,首先要了解的是,當(dāng)它們暴露在壓力或溫度下時(shí),它們會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的輸出(以毫伏為單位),前提是已提供輸入電壓或激勵(lì)電壓。 MEMS 芯片...
許多壓力傳感器應(yīng)用都需要具有集成信號(hào)調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應(yīng)用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
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