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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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市場(chǎng)容量持續(xù)擴(kuò)張 從加速度傳感器實(shí)現(xiàn)的功能來(lái)看,無(wú)論是國(guó)際知名品牌的手機(jī),還是普通的手機(jī),其主要功能是通過(guò)傾斜、晃動(dòng)等動(dòng)作來(lái)實(shí)現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車(chē)主動(dòng)安全領(lǐng)域,ESC(車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱...
MEMS麥克風(fēng)改變?cè)O(shè)備聲學(xué)性能的工作原理
想象一下不到普通麥克風(fēng)一半大小并帶有集成音頻信號(hào)處理功能,MEMS麥克風(fēng)可以作為單芯片手機(jī)一個(gè)集成部分。新型MEMS麥克風(fēng)的全部潛能還有待挖掘,但是第一...
如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購(gòu)買(mǎi)這些校準(zhǔn)方案還是開(kāi)發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1277 0
ADI:將異構(gòu)制造的話題作為產(chǎn)業(yè)未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)的一個(gè)重要觀察角度
ADI公司總裁兼首席執(zhí)行官Vincent Roche在對(duì)2018年的技術(shù)趨勢(shì)展望一文《這些創(chuàng)新將影響我們2018年的生活》中,首次發(fā)出將異構(gòu)制造的話題作...
2018-01-18 標(biāo)簽:adimems開(kāi)關(guān)技術(shù) 5583 0
MEMS傳感器在消費(fèi)類(lèi)領(lǐng)域的應(yīng)用
硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器保護(hù)功能 硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器墜落保護(hù)功能是MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器在消費(fèi)電子市場(chǎng)的具有重要?dú)v史意義的代表性應(yīng)用之一。 在手提電腦內(nèi)的三軸加速度傳感計(jì)可以監(jiān)測(cè)...
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量...
2018-01-17 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)mems 9723 0
基于GTI的1x3波長(zhǎng)復(fù)用/解復(fù)用器的系統(tǒng)級(jí)性能分析
波分復(fù)用器和解復(fù)用器幾乎是所有WDM系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)的主要組成部分。從傳統(tǒng)意義上講,多路復(fù)用/解復(fù)用器(de/mux)都屬于靜態(tài)器件,隨著溫度的變化波長(zhǎng)范圍會(huì)...
ADI新產(chǎn)品為添新功能,應(yīng)用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)工作原理
在ADI公司的一間會(huì)議室中,Howard Wisniowski用一只手拿起比紀(jì)念郵票稍大一點(diǎn)的演示板,并停留在離桌面一米左右的空中。這塊演示板上安裝有A...
各種創(chuàng)新消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品的MEMS傳感器應(yīng)用設(shè)計(jì)
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng),是利用微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。其中,微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)是利用被稱(chēng)為“微加工”的特殊工藝實(shí)現(xiàn)的微米大小的立體機(jī)械...
基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器分析與應(yīng)用
MEMS技術(shù)正在逐步走向民用和消費(fèi)類(lèi)市場(chǎng),我們正處于“MEMS狂潮”的開(kāi)端,ST將以其完善的生產(chǎn)基礎(chǔ)、高效的執(zhí)行能力、對(duì)消費(fèi)電子市場(chǎng)的深入了解,以及先進(jìn)...
基于MEMS技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計(jì)與集成
本文闡述了一種基于MEMS 技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計(jì)與集成。介紹了ADXL202 的測(cè)試原理和主要參數(shù)設(shè)計(jì)原則,然后利用其集成了一種無(wú)線加速...
基于新型三明治結(jié)構(gòu)的MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
本文提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)傳感器相比,新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下,模擬...
基于數(shù)字式MEMS加速度傳感器ADXL213的傾角測(cè)量應(yīng)用
本文提出一種基于數(shù)字式MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))加速度傳感器ADXL213的傾角測(cè)量裝置,該裝置采用占空比調(diào)制電路獲得相應(yīng)的數(shù)字信號(hào)。根據(jù)對(duì)實(shí)際運(yùn)動(dòng)模型...
對(duì)MEMS振蕩器的已超過(guò)四十個(gè)年頭,然而最近才走向商用化,其中最大的一個(gè)障礙是開(kāi)發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)...
簡(jiǎn)述運(yùn)動(dòng)傳感器在未來(lái)蜂窩手持設(shè)備領(lǐng)域的關(guān)鍵作用
以微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)集成電路(IC)形式實(shí)現(xiàn)的運(yùn)動(dòng)傳感器正在蜂窩手持設(shè)備的未來(lái)發(fā)揮關(guān)鍵作用,這些MEMS加速計(jì)使移動(dòng)電話更便于使用,而且還能夠提高手...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初,當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形,會(huì)影響其表面的...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.2萬(wàn) 0
Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個(gè)陀螺儀,這種傳統(tǒng)的機(jī)械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認(rèn)為,利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測(cè)量地球...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.7萬(wàn) 0
MEMS技術(shù)如何滿足天線調(diào)諧?移動(dòng)終端天線的挑戰(zhàn)
通過(guò)使用數(shù)字選擇方式的MEMS電容器件,MEMS數(shù)字可調(diào)IC提供了一種替代變?nèi)荻O管的高性能選擇。這些可調(diào)節(jié)電容器的建造開(kāi)始于兩個(gè)金屬板,其中一個(gè)在硅芯...
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