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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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為何說MEMS傳感器在結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)中決定性作用
可用于測(cè)量?jī)A斜度變化、振動(dòng)分析以及線性或圓周運(yùn)動(dòng)——即使在極端條件下也能測(cè)量。通過此類傳感器可以執(zhí)行預(yù)測(cè)性維護(hù),更好地利用可用資源并幫助避免服務(wù)故障和中斷。
一種基于多種MEMS傳感器的嵌入式姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)詳解
傳統(tǒng)的姿態(tài)測(cè)量因?yàn)椴捎酶呔韧勇輧x和加速度計(jì)等姿態(tài)傳感器,體積龐大并且價(jià)格昂貴。當(dāng)前MEMS產(chǎn)品因其體積小、價(jià)格低、功耗低,被稱為是傳統(tǒng)的慣性測(cè)量組合的...
2018-08-09 標(biāo)簽:嵌入式MEMS測(cè)量系統(tǒng) 2416 0
。在汽車領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器營(yíng)業(yè)收入2013年預(yù)計(jì)達(dá)到12.6億美元,占當(dāng)年總體產(chǎn)業(yè)營(yíng)業(yè)收入的74%。
MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進(jìn)行...
MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場(chǎng)混合作用的研發(fā)領(lǐng)域,相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個(gè)厘米,甚至僅僅為幾個(gè)微米,其厚度就更加微...
加速計(jì)和陀螺儀是獲取無人機(jī)、蜂窩電話、汽車、接收機(jī)和移動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備中加速和旋轉(zhuǎn)信息的傳感器選擇。但加速計(jì)和陀螺儀都容易有誤差,加速計(jì)可能出現(xiàn)噪音、陀螺儀...
德州儀器DLP?技術(shù)具有哪些優(yōu)勢(shì)?
德州儀器DLP? 產(chǎn)品 - 發(fā)動(dòng)顯示技術(shù)創(chuàng)新
MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀區(qū)別 常見MEMS加速度傳感器介紹
最大的區(qū)別就是:工作原理和應(yīng)用的區(qū)別(具體概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用慣性;前者是用在測(cè)斜調(diào)平,后者是知道通過知道角速率,可以知道物體的...
2018-07-30 標(biāo)簽:memsMEMS加速度計(jì)MEMS陀螺儀 1.4萬 0
淺談MEMS陀螺儀技術(shù) MEMS是否取代光纖陀螺儀技術(shù)
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀,就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種,主要作用是在GPS沒有信號(hào)時(shí),通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續(xù)精確導(dǎo)航。
可用于高溫惡劣環(huán)境下的MEMS氣體檢測(cè)模塊介紹
通常情況,氣體檢測(cè)模塊工作在室溫(最大溫度為60℃)。而Micro-Hybrid氣體檢測(cè)模塊的最高工作溫度可達(dá)180℃,可以用于高溫、高濕環(huán)境下測(cè)量氣體...
2018-07-29 標(biāo)簽:mems氣體檢測(cè)模塊 1863 0
對(duì)于ATE測(cè)試儀器儀表,典型測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)
由于待測(cè)器件(DUT)的復(fù)雜性提高,通道/引腳數(shù)量和功能增加,因而測(cè)試類型和所需測(cè)試數(shù)量也隨之增加。并且每個(gè)器件評(píng)估需要進(jìn)行數(shù)百項(xiàng)測(cè)試,特別是在自動(dòng)測(cè)試...
2018-07-16 標(biāo)簽:測(cè)試測(cè)量adiMEMS 1.6萬 0
談?wù)揗EMS技術(shù)原理及優(yōu)勢(shì)
可能大部分對(duì)MEMS還是比較陌生,但其實(shí)MEMS在生活中早已無處不在了,智能手機(jī)、手環(huán)、汽車、無人機(jī)、VR/AR頭戴式設(shè)備等,都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 2.3萬 0
微軟最近有一份專利公開,表示可以在很大程度上擴(kuò)大視場(chǎng)角
來看看它的具體結(jié)構(gòu),下面的圖片中即是主要部分的結(jié)構(gòu)透視圖。其中標(biāo)記為140的是激光發(fā)射裝置,一般情況下發(fā)射組成圖像的RGB光源。標(biāo)記為102的是光學(xué)元件...
介紹MEMS時(shí)鐘發(fā)生器的特點(diǎn)及應(yīng)用介紹
Microchip基于MEMS的時(shí)鐘發(fā)生器
2018-07-08 標(biāo)簽:memsmicrochip物聯(lián)網(wǎng) 4474 0
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