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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS微振鏡的3D成像精度可達(dá)到亞毫米級(jí)精度,最優(yōu)實(shí)現(xiàn)0.2毫米。同時(shí)基于MEMS微振鏡可實(shí)現(xiàn)無(wú)焦的結(jié)構(gòu)光投射,實(shí)現(xiàn)大景深探測(cè)。
什么叫做MEMS?意法半導(dǎo)體將如何布局智能工業(yè)MEMS市場(chǎng)
什么叫做MEMS?在此先做個(gè)小科普:它的全稱Micro Electromechanical System,簡(jiǎn)稱微機(jī)電系統(tǒng)。它是指尺寸在幾毫米乃至更小的高...
2018-10-03 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 4906 0
MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)的組成和關(guān)鍵測(cè)量技術(shù)的研究
本文基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺(jué)的MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng),通過(guò)采集MEMS器件顯微視覺(jué)圖像,利用平面亞像素運(yùn)動(dòng)位移算法和焦平面的定位,實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)MEMS器件平面和...
2019-08-30 標(biāo)簽:mems計(jì)算機(jī)機(jī)器視覺(jué) 3891 0
常見MEMS流體陀螺的原理、優(yōu)缺點(diǎn)和應(yīng)用前景
流體類陀螺儀與傳統(tǒng)陀螺儀相比,由于沒(méi)有懸掛質(zhì)量塊,結(jié)構(gòu)大大簡(jiǎn)化,制作難度降低,更重要的是,省去了復(fù)雜的活動(dòng)部件,其抗沖擊、抗振動(dòng)能力大大提高,特別適合在...
2019-09-10 標(biāo)簽:溫度傳感器mems自動(dòng)駕駛 7344 0
一個(gè)完整的傳感器到云傳感器融合系統(tǒng)設(shè)想
先前提到的過(guò)程和環(huán)境中的挑戰(zhàn)是傳感器融合問(wèn)題核心設(shè)計(jì)方法的基礎(chǔ)。相關(guān)的主要傳感模式用于在關(guān)鍵操作模式中提供高性能,同時(shí)互補(bǔ)傳感器則掃除每個(gè)應(yīng)用階段的關(guān)鍵...
基于STM32F401VE MEMS專用評(píng)估方案
本文介紹了STM32F401VE主要特性,框圖,MEMS評(píng)估母板STEVAL-MKI109V3主要特性,框圖,主要元件表,電路圖和PCB絲印圖.
英屬哥倫比亞大學(xué)研究員開發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,為了使醫(yī)療市場(chǎng)上超聲波換能器更便宜,研究人員開發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)!
微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)一直被標(biāo)榜為性能有限的機(jī)電繼電器的出色替代器件,因?yàn)樗子谑褂?,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GH...
自動(dòng)駕駛車內(nèi)慣性導(dǎo)航傳感器全面解讀
自從汽車制造商開始使用第一臺(tái)微機(jī)電傳感器(MEMS)加速計(jì)來(lái)測(cè)量加速的強(qiáng)勁力道以及啟動(dòng)安全氣囊已經(jīng)二十多年了。第一臺(tái)慣性傳感器早已為今日的先進(jìn)駕駛輔助系...
Blickfeld基于MEMS微鏡的固態(tài)LiDAR
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,位于德國(guó)慕尼黑的LiDAR(激光雷達(dá))創(chuàng)業(yè)公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬(wàn)美元,包括OSRAM(歐司朗)...
MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗淼墓ぷ髟砑霸O(shè)計(jì)
今天為大家介紹一項(xiàng)國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利——一種裝有多旁路測(cè)量裝置的MEMS熱式質(zhì)量燃?xì)獗?。該專利由遼寧思凱科技股份有限公司申請(qǐng),并于2017年3月29日獲得...
2018-09-06 標(biāo)簽:mems燃?xì)獗?/a> 4378 0
MEMS微執(zhí)行器技術(shù)現(xiàn)狀與未來(lái)展望
2015年開始,以集成微系統(tǒng)任務(wù)需求為牽引,通過(guò)問(wèn)題定位、技術(shù)分解,確立了基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器研究,目前取得的研究進(jìn)展包括以下幾個(gè)方面:壓電...
ST推出STA321MP系列音頻IC產(chǎn)品,可直接連接最新的微型麥克風(fēng)
STA321MP是意法半導(dǎo)體SoundTerminal系列音頻IC的最新產(chǎn)品,內(nèi)置MEMS數(shù)字麥克風(fēng)和標(biāo)準(zhǔn)麥克風(fēng)輸入接口。微型尺寸與抗液晶顯示器和功率器...
微全分析系統(tǒng)的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的,當(dāng)時(shí)主要強(qiáng)調(diào)了分析系統(tǒng)的微與全,及微管道網(wǎng)絡(luò)的MEMS...
利用冗余節(jié)點(diǎn)最佳移動(dòng)路徑算法解決節(jié)點(diǎn)移動(dòng)的節(jié)能路由問(wèn)題
無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測(cè)包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強(qiáng)度、壓力、土壤成分、移動(dòng)物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
探討壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)現(xiàn)在及發(fā)展趨勢(shì)
壓電MEMS通過(guò)單片即可實(shí)現(xiàn)微執(zhí)行、能量收集、傳感和無(wú)線通信,是應(yīng)用潛力巨大的熱點(diǎn)技術(shù)。
如何讓MEMS光學(xué)圖像穩(wěn)定技術(shù)變成現(xiàn)實(shí)?
MEMS OIS解決方案具有高性能、小尺寸、低功耗等特點(diǎn),因此具有巨大的市場(chǎng)潛力。隨著更好的OIS技術(shù)應(yīng)用,移動(dòng)拍照媲美專業(yè)級(jí)單反相機(jī)的時(shí)代正在來(lái)臨!
重力傳感器簡(jiǎn)稱GV-sensor,輸出重力數(shù)據(jù)。 在地球上,重力數(shù)值為9.8,單位是m/s^2。 坐標(biāo)系統(tǒng)與加速度傳感器相同。 當(dāng)設(shè)備復(fù)位時(shí)...
大多數(shù)MOEMS制作技術(shù)是直接由IC工業(yè)及其制造標(biāo)準(zhǔn)演化而來(lái)。因此,在MOEMS中采用體和表面微機(jī)械加工及高產(chǎn)量的微機(jī)械加工(HARM)技術(shù)。但有管芯尺...
淺析傳感器步進(jìn)響應(yīng)與帶寬之間關(guān)系
對(duì)于采用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言,優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。
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