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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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淺析MEMS麥克風的結構與工作模式

隨著智能設備的迅猛發(fā)展，市場需要更高性能的麥克風，而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風提供高性能和保真度及可靠性，適用于便攜式設備。本文介紹了MEMS麥克...

2018-11-28 標簽：MEMS 麥克風 1.6萬 0

剖析MEMS氣壓傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中的應用

據(jù)麥姆斯咨詢報道，氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯(lián)網(wǎng)（IoT）中有非常廣泛的應用，從氣象監(jiān)測到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。

2018-11-26 標簽：傳感器 MEMS 物聯(lián)網(wǎng) 4514 0

艾邁斯半導體推出了一款用于檢測廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊

據(jù)麥姆斯咨詢報道，全球領先的高性能傳感器解決方案供應商艾邁斯半導體（ams）宣布推出新版iAQ-Core模塊，這是一款用于檢測廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...

2019-06-28 標簽：mems 氣體傳感器艾邁斯半導體 1001 0

意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計

意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計，可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式，在有限的功耗預算內(nèi)實現(xiàn)高精度測量。

2018-11-23 標簽：傳感器 MEMS 意法半導體 4881 0

淺析近年值得關注的新興MEMS和傳感器技術

今天的大部分重磅MEMS產(chǎn)品，都是作為學術研究成果而誕生的。

2018-11-23 標簽：傳感器 MEMS 3646 0

MEMS麥克風讀出電路設計方案

本文提供的MEMS麥克風讀出電路設計方案具有噪聲小、可以處理的小信號幅度范圍廣、功耗低等特點，可延長電池供電的便攜式設備的待機時間。

2018-11-15 標簽：MEMS 麥克風 9731 0

MEMS麥克風的結構和工作模式概述

人們使用電腦和智能設備的方式的變化，推動對可靠和高性能MEMS麥克風的需求。

2018-11-15 標簽：MEMS 音頻 1.8萬 1

淺析MEMS麥克風噪聲失效具體案例

MEMS麥克風噪聲主要包括MEMS芯片的機械振動噪聲和ASIC芯片的電噪聲，如何在非破壞性測試的情況下快速判斷噪聲失效的原因一直困擾著失效分析工程者。

2018-11-13 標簽：芯片 MEMS 噪聲 9969 0

MEMS傳感器技術優(yōu)化制造業(yè)預測維護手段

在工業(yè)制造運營中，被動的設備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素，這種維修本來是可以避免的。

2018-11-12 標簽：傳感器 MEMS 2473 0

鈦MEMS技術在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應用前景

近年來，受益于MEMS技術，傳感器和執(zhí)行器小型化的同時，性能、功能和靈敏度也得到增強；加上低成本、個性化醫(yī)療應用潛力，MEMS器件在醫(yī)療和生物領域的應用...

2018-10-26 標簽：MEMS 微流控 4173 0

MEMS掃描鏡介紹,MEMS微鏡按原理區(qū)分

MEMS微鏡在DLP的應用是一個成功的例子。DLP顯示的核心技術則是采用靜電原理的MEMS微鏡組成的陣列，每一面微鏡構成一個單色像素，由微鏡下層的寄存器...

2018-10-22 標簽：寄存器 MEMS 激光雷達 5.3萬 1

探究SiP封裝技術的奧妙

在拯救摩爾定律的道路上，人們挖盡心思。從設計角度出發(fā)，SoC將系統(tǒng)所需的組件高度集成到一塊芯片上。從封裝立場看，SiP也踩著七彩祥云回到了人們視野面前。

2018-10-21 標簽：半導體 mems sip封裝 1.4萬 0

小型化需求促進了MEMS技術的進步

據(jù)麥姆斯咨詢報道，MEMS技術的進步正在引領產(chǎn)品小型化（或者說產(chǎn)品的小型化需求促進了MEMS技術的進步），同時該技術又提高了產(chǎn)品的可靠性、準確性和性能。

2019-05-11 標簽：傳感器 mems 2321 0

基于MEMS的DNA合成技術實現(xiàn)DNA高通量組裝

LioniX將使用普通硅加工技術和材料制造新型熱尋址硅陣列，使得Evonetix能夠使用其用于傳輸?shù)臒釁f(xié)同控制化學方法控制再生DNA的合成，從而實現(xiàn)大規(guī)...

2018-10-17 標簽：MEMS DNA 4750 0

加速傳感器的分類工作原理及在各領域中的應用

加速傳感器顧名思義就是一種能夠測量出產(chǎn)品加速度的一種設備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計，分別是角加速度計和線加速度計。生活中我們又將它分為四種...

2018-10-11 標簽：mems 可穿戴設備加速傳感器 2029 0

智能汽車將推動CMOS圖像傳感器和傳感器晶圓需求的持續(xù)增長

移動終端產(chǎn)品中的電子元器件應用日益增長，受此驅(qū)動，半導體行業(yè)正面臨著一個新的時代，在這個新時代，工藝節(jié)點縮小和成本降低將不再延續(xù)過去幾十年來的摩爾定律發(fā)...

2018-10-09 標簽：mems 智能汽車 5g 1443 0

MEMS超聲波換能器為何是現(xiàn)在進入大眾市場？

解釋上述時間因素主要有四點。首先，市場應用正在推動MEMS超聲波換能器發(fā)展。由于更便宜且更小的探頭誕生，醫(yī)療超聲波成像將實現(xiàn)平民化，全科醫(yī)生甚至家庭都可...

2018-10-09 標簽：mems 超聲波換能器 7201 0

基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器的幾種技術解析

壓電MEMS微執(zhí)行器的設計難點包括了大位移與低驅(qū)動電壓之間的制約、驅(qū)動負載功率與執(zhí)行器薄型化之間的制約、不可避免的工藝誤差帶來的性能退化。針對上述性能提...

2019-07-12 標簽：mems 慣性傳感器執(zhí)行器 3917 0

思立微電子在MEMS超聲技術上取得突破，在10MHz頻點轉(zhuǎn)換效率可達1.5%

日前，上海思立微電子在MEMS超聲技術上歷時兩年的潛心研發(fā)，取得了突破性進展。其自主研發(fā)的超聲換能器已通過系列性能測試，在10MHz頻點轉(zhuǎn)換效率可達1....

2018-09-30 標簽：mems 換能器超聲技術 4139 0

MEMS微振鏡在3D視覺中的應用

基于MEMS微振鏡的3D成像精度可達到亞毫米級精度，最優(yōu)實現(xiàn)0.2毫米。同時基于MEMS微振鏡可實現(xiàn)無焦的結構光投射，實現(xiàn)大景深探測。

2018-10-04 標簽：MEMS 3D視覺 2.3萬 0

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