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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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ADI公司革命性MEMS開關(guān)技術(shù)的基本原理
本文介紹ADI公司在微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)方面的突破。與傳統(tǒng)的機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)在RF和DC開關(guān)性能、可靠性和小型化方...
狀態(tài)監(jiān)測中數(shù)字MEMS加速度計的混疊效應(yīng)
與現(xiàn)有的壓電加速度計相比,MEMS加速度計具有低成本、重量、功耗和易用性等特點,是工業(yè)機械基于振動的狀態(tài)監(jiān)測的有吸引力的候選者。這些功能允許設(shè)備制造商嵌...
MEMS加速度計作為現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)測(CM)系統(tǒng)中的振動傳感器剛剛成熟。最近在測量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)方面的擴展正在實現(xiàn)新的概念和系統(tǒng)架構(gòu),因為CM開...
例如,具有活動檢測功能的加速度計可以在確定設(shè)備在沒有移動或振動的情況下處于非活動狀態(tài)時,通過告訴設(shè)備進入最低功耗模式來啟用電源管理技術(shù)。復(fù)雜的控件和物理...
突破性的5kV ESD MEMS開關(guān)技術(shù)
ADI MEMS開關(guān)技術(shù)的核心是靜電驅(qū)動、微加工、金懸臂梁開關(guān)元件的概念。MEMS開關(guān)可以被認(rèn)為是微米級的機械繼電器,具有金屬對金屬觸點,通過高直流電壓...
加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊,因此可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能差異很大。本文第 1...
可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)測和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中的關(guān)鍵規(guī)格和功能
為您的應(yīng)用選擇最合適的加速度計可能很困難,因為不同制造商的數(shù)據(jù)手冊可能有很大差異,導(dǎo)致對最關(guān)鍵規(guī)格的混淆。在本文的第 2 部分中,我們將重點介紹可穿戴設(shè)...
2023-01-03 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)電池 1352 0
對MEMS工藝技術(shù)的投資,加上設(shè)計創(chuàng)新,極大地提高了MEMS性能,足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測應(yīng)用的可行選擇?,F(xiàn)在,通過專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技...
雖然消費類應(yīng)用刺激了對這些傳感器的需求,但它們在其他市場的使用也在增加。隨著數(shù)字化或物聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn),傳感器正在成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心。在這些情況下,M...
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學(xué)...
未來服務(wù)對傳感器的需求:用于狀態(tài)監(jiān)測的智能傳感器
這種預(yù)測性維護(PM)的主要元素,眾所周知 技術(shù)術(shù)語,是基于狀態(tài)的監(jiān)測(CBM),通常是旋轉(zhuǎn)的 渦輪機、風(fēng)扇、泵和電機等機器。有了煤層氣, 實時記錄有關(guān)...
為工業(yè)4.0實現(xiàn)強大的有線狀態(tài)監(jiān)控
機器人和旋轉(zhuǎn)機械(如渦輪機、風(fēng)扇、泵和電機)的狀態(tài)監(jiān)控 (CbM) 記錄與機器運行狀況和性能相關(guān)的實時數(shù)據(jù),以實現(xiàn)有針對性的預(yù)測性維護以及優(yōu)化控制。在機...
傳感器性能如何實現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)測解決方案
不平衡系統(tǒng)會產(chǎn)生過度振動,這些振動以機械方式耦合到系統(tǒng)內(nèi)的其他組件,例如軸承、聯(lián)軸器和負(fù)載,從而可能加速處于良好運行狀態(tài)的組件的劣化。
SPI至RS-485/RS-422設(shè)計解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計注意事項
為MEMS實現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
MEMS系統(tǒng)的EMC合規(guī)性提高了99%
本文概括介紹了在設(shè)計 EMC 標(biāo)準(zhǔn)時遇到的主要難題,這些挑戰(zhàn)應(yīng)與當(dāng)今高度集成的 CbM 解決方案相協(xié)調(diào)。眾所周知,EMC設(shè)計很難在第一次就正確,即使是電...
為什么MEMS加速度計正在成為設(shè)計人員在CbM應(yīng)用中的最佳選擇
全球狀態(tài)監(jiān)測(CbM)市場在過去幾年中經(jīng)歷了顯著增長,并且這種情況似乎將繼續(xù)下去。1這種增長恰逢MEMS加速度計用于振動傳感應(yīng)用的快速發(fā)展,現(xiàn)在可以與曾...
前烘就是在一定溫度下,使膠膜里的溶劑緩慢地?fù)]發(fā)出來,使膠膜干燥,并增加其粘附性和耐磨性。
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