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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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LIDE激光誘導(dǎo)深度蝕刻技術(shù)在MEMS封裝領(lǐng)域的應(yīng)用
良好的機(jī)械強(qiáng)度:玻璃是一種相對(duì)堅(jiān)固且耐用的材料,可以保護(hù)MEMS器件免受機(jī)械應(yīng)力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會(huì)產(chǎn)生疲勞效應(yīng)。適用于長(zhǎng)...
面向人體運(yùn)動(dòng)感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機(jī)械柔性等獨(dú)特優(yōu)勢(shì),被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
數(shù)十年來(lái),基于石英的時(shí)鐘器件一直為航空航天和國(guó)防應(yīng)用提供參考時(shí)鐘。盡管,多年來(lái)基于石英的振蕩器不斷增強(qiáng)以改進(jìn)其缺點(diǎn),但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
使用ADIS16209傾角儀進(jìn)行傾斜測(cè)量的精度和可重復(fù)性
測(cè)斜儀之間微妙的內(nèi)部非線性失配將表現(xiàn)出獨(dú)特的傳遞曲線。雖然某些非線性由于架構(gòu)而相似,但其他非線性由于部件之間的差異而有所不同。這些將表現(xiàn)為整體噪聲源以及...
測(cè)量角速率的MEMS陀螺儀有幾個(gè)內(nèi)部誤差因素,偏置不穩(wěn)定是一個(gè)組成部分。然而,與分立元件相比,慣性測(cè)量單元(IMU)具有幾個(gè)優(yōu)勢(shì),可增強(qiáng)性能。具有六個(gè)自...
在自平衡制導(dǎo)控制系統(tǒng)中使用MEMS慣性測(cè)量單元
理想情況下,陀螺儀和加速度計(jì)中的多個(gè)軸相互正交。然而,一個(gè)常見(jiàn)的誤解是,由于多軸陀螺儀或加速度計(jì)可以在一個(gè)分立的MEMS組件內(nèi)設(shè)計(jì),因此每個(gè)軸彼此成90...
加速度計(jì)在整個(gè)溫度和存在振動(dòng)的情況下進(jìn)行傾斜測(cè)量
答案很可能是否定的。圍繞確定的傾斜精度值的問(wèn)題總是很難回答,因?yàn)樵贛EMS傳感器性能方面需要考慮許多環(huán)境因素。通常,消費(fèi)級(jí)加速度計(jì)很難在動(dòng)態(tài)環(huán)境中檢測(cè)到...
高度可靠、精密測(cè)量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣等干燥潔凈無(wú)腐蝕性氣體的測(cè)量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)中的振動(dòng)檢測(cè)
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計(jì)的高線性、低噪聲、寬帶振動(dòng)測(cè)量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動(dòng)機(jī)監(jiān)控,以及需要高達(dá) ±50 ...
SPI至RS-422/RS-1設(shè)計(jì)解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
為MEMS實(shí)現(xiàn)有線物理層接口的常見(jiàn)挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長(zhǎng)RS-485/RS-422電纜上擴(kuò)展時(shí)鐘同步接口(如SPI)時(shí),以及...
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測(cè)的MEMS加速度計(jì)的信息
市場(chǎng)上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器。這些經(jīng)濟(jì)型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
大多數(shù)MEMS傳感器都具有自檢功能,能夠在關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用中部署之前測(cè)試傳感器。此功能練習(xí)傳感器的機(jī)械結(jié)構(gòu),以模擬其設(shè)計(jì)要測(cè)量的外力。此診斷還可用于模擬步進(jìn)...
精細(xì)之至,方顯英雄本色——保證源表測(cè)量精度的小秘籍
精準(zhǔn)的測(cè)試,幾乎是所有工程師測(cè)試工作永恒的追求目標(biāo)。但這絕非易事,特別是小信號(hào)的測(cè)量。例如,半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、MEMS、發(fā)光器件等,需要測(cè)量精確伏...
2023-02-01 標(biāo)簽:mems測(cè)量?jī)x器源表 1247 0
適用于阻抗條測(cè)試,信號(hào)完整性驗(yàn)證、共面波導(dǎo)、電路調(diào)試及測(cè)試裝置用途,基本可以做到高速信號(hào)測(cè)試無(wú)死角。
使用MEMS加速度計(jì)和自適應(yīng)參考方法助于大幅提高DVR系統(tǒng)性能
現(xiàn)代車載數(shù)字視頻記錄系統(tǒng) (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(jì)(g 傳感器)來(lái)測(cè)量車載加速度。這允許DVR在發(fā)生預(yù)定義事件(例如急剎車或碰撞)時(shí),使...
2023-01-31 標(biāo)簽:CMOS發(fā)動(dòng)機(jī)mems 3576 0
MEMS振動(dòng)監(jiān)測(cè)簡(jiǎn)介
慣性MEMS傳感器在當(dāng)今個(gè)人電子設(shè)備的大規(guī)模擴(kuò)展中發(fā)揮著重要作用。它們體積小、功耗低、易于集成、功能水平高和性能卓越,鼓勵(lì)并實(shí)現(xiàn)了智能手機(jī)、游戲控制器、...
來(lái)自慣性傳感器的信息可以被處理和 集成以導(dǎo)出許多不同類型的運(yùn)動(dòng)、位置、 和方向輸出。每種類型的運(yùn)動(dòng)都需要廣泛的 必須具有的應(yīng)用相關(guān)復(fù)雜性范圍 理解。一個(gè)...
電磁MEMS基本原理-MEMS掃描微鏡和MEMS開(kāi)關(guān)
電磁驅(qū)動(dòng)型掃描微鏡是依據(jù)帶電線圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)來(lái)驅(qū)動(dòng)的。電磁微鏡最明 顯的優(yōu)勢(shì)是僅在低電壓低電流的驅(qū)動(dòng)下就可以達(dá)到較大的微鏡角度偏轉(zhuǎn),同時(shí)也 具有偏轉(zhuǎn)速度...
2023-01-29 標(biāo)簽:mems電磁場(chǎng)微鏡 3780 0
使用慣性傳感器來(lái)滿足醫(yī)療/健康領(lǐng)域需求
運(yùn)動(dòng)對(duì)生命既是不可或缺的,也是必不可少的。我們這些移動(dòng)的人似乎處于永動(dòng)機(jī)中,對(duì)于那些不動(dòng)的人來(lái)說(shuō),可能需要某種形式的機(jī)械輔助工具來(lái)協(xié)助提供運(yùn)動(dòng)。不難想象...
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