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微型機(jī)器人的發(fā)展依賴于微加工工藝、微傳感器、微驅(qū)動(dòng)器和微結(jié)構(gòu)四個(gè)方面。這四個(gè)方面的基礎(chǔ)研究有三個(gè)階段：器件開發(fā)階段、部件開發(fā)階段、裝置和系統(tǒng)開發(fā)階段?，F(xiàn)已研制出直徑20微米、長(zhǎng)150微米的鉸鏈連桿，200微米×200微米的滑塊結(jié)構(gòu)，以及微型的齒輪、曲柄、彈簧等。