資料介紹
ATHENA是一個模擬器,提供一般的能力,數(shù)值,物理基礎(chǔ),二維模擬半導(dǎo)體加工。ATHENA有一個模塊化的架構(gòu),可以使用以下許可的工具和擴展:?ATHENA:該工具執(zhí)行結(jié)構(gòu)初始化和操作,并提供基本的沉積和蝕刻設(shè)備?SSUPREM4:該工具用于硅半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的設(shè)計、分析和優(yōu)化。它模擬了硅的離子注入、擴散和氧化等過程。?ELITE:該工具是一個通用的二維地形模擬器,可精確描述現(xiàn)代集成電路技術(shù)中使用的各種沉積、蝕刻和回流工藝。?OPTOLITH:該工具執(zhí)行一般光學(xué)光刻模擬,包括二維航空成像、非平面光刻膠曝光、曝光后烘焙和顯影。
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