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一種利用菲涅爾衍射效應(yīng)精確測(cè)量工件直徑的方法。該測(cè)量系統(tǒng)由處于相互垂直位置的
兩組激光二極管和線陣CCD組成，利用工件激光衍射圖樣獲取投影邊界，以幾何方法計(jì)算工件直徑。
本系統(tǒng)以數(shù)字信號(hào)處理器作為數(shù)據(jù)處理芯片，用大規(guī)?？?a target='_blank' class='arckwlink_none'>編程邏輯拓展系統(tǒng)功能并控制CCD的時(shí)
序。該測(cè)量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量精度高，抗干擾性強(qiáng)等特點(diǎn)。
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